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蔡建发

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇熔融玻璃
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇丝网
  • 2篇丝网版
  • 2篇互联
  • 2篇互联技术
  • 2篇化学机械抛光
  • 2篇机械抛光
  • 2篇沟槽

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇蔡建发
  • 2篇占瞻
  • 2篇周如海
  • 2篇孙道恒
  • 2篇王凌云
  • 2篇陈梦月
  • 2篇李益盼

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法
一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表...
孙道恒占瞻周如海李益盼蔡建发陈梦月王凌云
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一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法
一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表...
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