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范元媛
作品数:
78
被引量:19
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电研究院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
周翊
北京市准分子激光工程技术研究中...
宋兴亮
北京市准分子激光工程技术研究中...
赵江山
北京市准分子激光工程技术研究中...
沙鹏飞
中国科学院光电研究院
李慧
中国科学院光电研究院
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作者
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范元媛
64篇
周翊
57篇
宋兴亮
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赵江山
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沙鹏飞
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李慧
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3篇
2011
2篇
2010
3篇
2009
共
78
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一种同时监测激光光谱及光谱能量分布的方法和装置
本发明公开了一种同时监测激光光谱及光谱能量分布的方法和装置。本发明利用挡光系统将待测激光中具有特定光谱范围的激光入射到分光系统,并利用所述分光系统将激光分成两束,其中一束进行光谱的探测与显示,另一束进行能量探测,并调节挡...
周翊
范元媛
刘广义
吴月婷
赵江山
王宇
文献传递
具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器
本实用新型公开了一种具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器,气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8),该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6),并分别将两个布儒斯特窗(...
沙鹏飞
彭卓君
单耀莹
宋兴亮
李慧
蔡茜玮
范元媛
赵江山
周翊
文献传递
光纤纤芯温度的测量方法
一种用于高功率光纤激光器或光纤放大器中光纤纤芯温度的测量方法,包括:在待测光纤纤芯制作布拉格光栅;布拉格光栅温度与布拉格光栅中心波长定标;在所述的高功率光纤激光器或光纤放大器的两端的光路中分别设置导入双色耦合器和导出双色...
何兵
范元媛
周军
文献传递
一种多功能光学材料测试装置
本发明公开了一种多功能光学材料测试装置,包括激光器、反射镜安装机构和样品室,反射镜安装机构用于安装反射镜,样品室用于接收来自激光器或反射镜安装机构的激光,以对装载其中对光学材料进行照射。所述反射镜安装机构和样品室均具有多...
沙鹏飞
周翊
赵江山
单耀莹
彭卓君
丁金滨
宋兴亮
范元媛
李慧
文献传递
高效率ArF准分子激光复合腔技术研究
被引量:5
2016年
短波长、高光子能量的Ar F准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm Ar F准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提出了实现其复合腔窄带激光模式锁定的解决方案,并进行了实验验证。与通常插入色散元件的单窄带腔相比,锁定后的准分子激光复合腔在输出线宽基本不变的情况下能量提高了4.02倍,激光效率大幅提升,能量稳定性也大幅优化。
范元媛
周翊
刘广义
宋兴亮
单耀莹
王倩
赵江山
关键词:
激光器
准分子激光器
复合腔
窄线宽
自种子注入双腔结构准分子激光器系统
本发明公开了一种自种子注入双腔结构准分子激光器系统,包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和宽带反馈模块,所述激光放电腔内包含有工作气体,该工作气体在激励源作用下能产生激光,输出激光模式为放电腔中模式竞争取胜的激光模...
周翊
范元媛
单耀莹
吴月婷
沙鹏飞
宋兴亮
张立佳
崔惠绒
王宇
文献传递
光纤包层光滤除器及其制造方法
一种光纤包层光滤除器及其制造方法,该光纤包层光滤除器的结构是将单包层光纤的一段涂覆层或双包层光纤的一段涂覆层及外包层去掉,使用切割刀或者化学药剂将裸露出来的包层或内包层表面粗糙化,破坏泵浦光和包层激光在单包层光纤的包层和...
何兵
刘厚康
范元媛
郑寄托
周军
文献传递
准分子激光器的可见光引导装置
本实用新型公开了一种准分子激光器的可见光引导装置,所述准分子激光器包含MO腔、PA腔和PA腔光路转置单元,PA腔光路转置单元用于引导MO腔输出的种子光传输,使种子光进入PA腔进行放大,同时透射来自PA腔的输出激光。所述可...
李慧
赵江山
周翊
宋兴亮
范元媛
沙鹏飞
蔡茜玮
王倩
鲍洋
张立佳
文献传递
环形泵浦激光器
本实用新型公开了一种环形泵浦激光器,包括泵浦光输入装置、激光腔和泵浦光回收装置,泵浦光输入装置用于产生泵浦光并入射到所述激光腔内,激光腔用于对激光振荡输出,泵浦光回收装置用于将从所述激光腔泄露的泵浦光回收后重新输入到激光...
范元媛
王倩
翟晔
宋兴亮
张立佳
蔡茜玮
彭卓君
崔惠绒
周翊
王宇
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一种一体化气体激光器
本发明公开了一种一体化气体激光器,气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8),该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6),并分别将两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内;腔...
沙鹏飞
彭卓君
单耀莹
宋兴亮
李慧
蔡茜玮
范元媛
赵江山
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