肖文礼
- 作品数:6 被引量:17H指数:2
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺交通运输工程更多>>
- 二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法被引量:3
- 2001年
- 介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。
- 熊木地张慧敏肖文礼邢忠宝
- 关键词:二元光学元件速度控制自适应控制
- 二元光学元件激光直接写入设备
- 卢振武邢忠宝张景和邹振书廖江红翁志成张新刘伟肖文礼熊木地李凤有李志来宋立维
- 项目研制的二元光学元件激光直接写入设备是新型大尺寸光刻设备,主要用于二元光学元件的制作,其质量明显优于机械刻划方法。其主要创新点如下:1、创造性地实现了在同一设备上完成曲面直角和极坐标两种光刻方式,降低了设备的研制费用,...
- 关键词:
- 关键词:二元光学元件计算机控制
- 数控旋光式激光淬火机
- 谢冀江卜宪章李雨田程义新刘要武肖文礼卢启鹏杨艳琴陶永义李维
- 该项目研制出一种适合我国现有汽车维修行业发展所需的实用缸体淬火设备,以提高汽车维修产业的科技含量和技术水平,创造更大的社会效益和经济效益。该机主要由淬火机床、激光头、激光电源、数控系统和水冷系统几部分组成,是一种以汽车缸...
- 关键词:
- 关键词:数控旋光
- 利用CAD图形交换文件实现激光直写设备的运动控制被引量:2
- 2000年
- 分析了激光写入与加工设备的特点。指出了这类设备工作效率低下的主要原因是要求刻划或加工的图形变换的频率高 ,而这类设备的加工元件的编程语言不标准 ,程序采用人工编制 ,且加工工艺复杂 ,从要求刻划与加工的图形到设备的多维运动控制代码的产生是一件非常繁琐的过程。提出了采用 CAD绘图功能作为加工轨迹输入 ,在 CAD绘图环境中加入设备运动的辅助信息 ,然后产生相应的 DXF图形交换文件 ,并开发图形交换文件到运动代码生成的解释软件 ,利用 CAD与解释软件相结合可实现设备的运动代码自动生成 ,可极大地提高编程效率 ,缩短调试时间 ,提高设备的利用率。同时给出实现此方案的步骤与途径。
- 熊木地谢朝肖文礼邢忠宝
- 关键词:图形交换文件运动控制CAD
- 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究被引量:13
- 2000年
- 精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理 ,分析了调焦伺服实现的方法 ,重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动问题 ,采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响。最后 。
- 熊木地肖文礼邢忠宝
- 提高实时调焦伺服系统性能的一种新方法被引量:1
- 2001年
- 对二元光学元件激光直写设备实时调焦伺服系统的要求与实现方法进行了较为全面的介绍 ,并分析了影响调焦伺服系统性能的主要因素。提出了采用BP神经网络对离焦信号进行线性化处理 ,同时采用压电陶瓷作为执行元件 ,并进行动态非线性补偿 ;可大大提高调焦伺服系统的精度与带宽。同时 ,在线估算离焦信号的带宽 ,以此调节刻划的速度 ,可大大提高刻划的效率。
- 熊木地肖文礼邢忠宝
- 关键词:伺服系统二元光学元件