毛明
- 作品数：4 被引量：38H指数：3
- 供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 感应耦合等离子体的1维流体力学模拟被引量：4
- 2006年
- 采用双极扩散近似的流体力学模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布,其中射频源的功率沉积由动力学理论给出。分析了不同的射频线圈的驱动电流和放电气压对等离子体密度和电子温度空间分布的影响。在低气压下,等离子体密度基本上保持空间均匀分布。随着放电压强的增加,等离子体密度的分布呈现出明显的空间不均匀性。当线圈电流增大时,等离子体密度和电子温度都随着增大。
- 王帅毛明王友年
- 关键词：感应耦合等离子体流体力学等离子体密度电子温度
- 射频感应耦合等离子体源的动力学模拟及实验诊断
- 本文主要目标是建立自洽的低气压射频感应耦合等离子体源中的动力学物理模型，研究低气压条件下射频感应耦合等离子体中的电子加热机制及反常趋肤效应，并结合朗缪尔探针测量揭示产生这些现象背后的内在物理原因。
第一章，简述...
- 毛明
- 关键词：等离子体源动力学模型反常趋肤效应
- 等离子体刻蚀工艺的物理基础被引量：26
- 2006年
- 介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题.
- 戴忠玲毛明王友年
- 关键词：等离子体刻蚀电容耦合放电双频鞘层
- 射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究被引量：8
- 2008年
- 分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电子温度在不同的气压下随N2含量的增加呈现出不同的变化规律.在放电气压小于1.3Pa时,电子温度随N2含量的增加而下降;当气压大于1.3Pa时,电子温度随N2含量的增加先迅速上升而后缓慢下降.在不同的放电气压下,电子密度随N2含量的增加迅速下降.数值模拟结果与Langmuir探针测量结果趋势一致.
- 高飞毛明丁振峰王友年
- 关键词：感应耦合等离子体LANGMUIR探针
