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康文运

作品数：4 被引量：3H指数：2
供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信

主题

  • 3篇液态金属离子...
  • 2篇离子
  • 2篇离子束
  • 2篇离子源
  • 2篇聚焦离子束
  • 1篇液态
  • 1篇液态金属
  • 1篇真空系统
  • 1篇质量分析器
  • 1篇质谱
  • 1篇束流
  • 1篇内热式
  • 1篇热式
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇硅
  • 1篇铍
  • 1篇BE
  • 1篇LMIS

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇康文运
  • 4篇应根裕
  • 3篇董桂芳
  • 3篇汪健如

传媒

  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇电子器件
  • 1篇真空电子技术

年份

  • 1篇1998
  • 2篇1997
  • 1篇1996
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
用E×B质量分析器分析Au－Si液态金属离子源（LMIS）的束流成分
1996年
本文介绍了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的结构以及源的发射特性，利用Ｅ×Ｂ质量分析器，获得了Ａｕ－ＳｉＬＭＩＳ的质谱图。
康文运董桂芳应根裕汪健如
关键词：液态金属离子源质谱聚焦离子束
Au-Si-Be液态金属离子源发展综述被引量：1
1998年
对Au－Si－Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍，包括源的结构、发射特性，以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响。
康文运应根裕汪健如
关键词：液态金属离子源
AuSi液态金属离子源被引量：2
1997年
为了进行Ｓｉ聚焦离子束微细加工技术的研究，研制了ＡｕＳｉ液态金属离子源制备设备及其分析设备，制成了实用化的ＡｕＳｉ合金源，得到了制备该合金源的成熟工艺，利用Ｅ×Ｂ质量分离器分离出Ａｕ和Ｓｉ离子束，对源的一些特性如电流—电压曲线、加热功率—发射电流曲线、束流质谱及源的寿命作了分析。该源结构采取同轴针型，合金槽的材料为钼，发射尖为钨丝。源正常工作时的加热方式为间接加热式。该源与带质量分离器的聚焦离子束系统结合，将迈开亚微米Ｓｉ离子束加工的第一步。并为今后研究其它合金源提供经验。
董桂芳康文运应根裕汪健如
关键词：液态金属离子源离子源聚焦离子束微细加工
内热式液态合金离子源被引量：2
1997年
本文介绍了一种实用的液态合金离子源结构，我们利用本结构研制成功了Ａｕ－Ｓｉ和Ａｕ－Ｓｉ－Ｂｅ液态合金离子源，测出了它们的发射特性。
康文运董桂芳应根裕汪键如
关键词：真空系统
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共1页<1>
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