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唐晖

作品数：9 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇会议论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇科技成果

领域

  • 7篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 6篇电子束曝光
  • 6篇曝光机
  • 5篇电子束曝光机
  • 2篇电火花
  • 2篇电火花线
  • 2篇电火花线切割
  • 2篇电火花线切割...
  • 2篇摄影
  • 2篇微米
  • 2篇线切割
  • 2篇线切割加工
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻技术
  • 2篇放电
  • 2篇放电过程
  • 2篇高速摄影
  • 1篇电火花切割
  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光系...
  • 1篇多通道放电

机构

  • 9篇中国科学院

作者

  • 9篇唐晖
  • 5篇薛虹
  • 4篇张今朝
  • 4篇顾文琪
  • 3篇张福安
  • 2篇王理明
  • 2篇初明璋
  • 2篇卢维美
  • 2篇方光荣
  • 1篇潭敏
  • 1篇王启祥
  • 1篇陈志琪
  • 1篇王岩红
  • 1篇徐彧
  • 1篇谭敏
  • 1篇靳鹏云
  • 1篇吴桂君
  • 1篇安秉谦
  • 1篇彭开武
  • 1篇刘俊标

传媒

  • 2篇电工电能新技...
  • 2篇第十一届全国...
  • 1篇第二届全国电...
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第八届全国电...

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 2篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1999
  • 1篇1997
  • 1篇1995
  • 1篇1991
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
实用化电子束曝光机的真空系统
本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.
薛虹顾文琪刘俊标初明璋唐晖徐彧
关键词：电子束曝光自动控制真空系统
文献传递
可变矩形电子束曝光系统中的温度及微束流测量数据采集系统
1991年
大规模集成电路可变矩形电子束曝光机对温度、微束流等项测量提出了较高的要求。因此,我们已研制了分辨率为0.05℃的精密温度测量仪。为在变形束曝光机中实现自动温度和微束流测量,我们又研制了精密温度和微束流测量数据采集系统。实验证明,本系统的性能已达到设计要求。
程允惠唐晖谭敏
关键词：电子束曝光机温度束流
电子束缩小投影成像曝光系统研究
顾文琪张福安方光荣薛虹靳鹏云彭开武张今朝唐晖初明璋吴桂君王理明
该项目通过对电子束缩小投影成像曝光系统的关键技术及相关部件的研究，探索纳米级缩小投影成像曝光、散射型掩模制备及角度限制机理和高精度对准定位等核心技术。项目组制定了详细又切合实际的总体方案和合理可行的技术路线。为加快研究进...
关键词：
电火花线切割加工放电过程的高速摄影研究
高速摄影技术研究电火花线切割加工（ＷＥＤＭ）放电、热蚀、气泡运动和金属材料的抛出过程，并对线切割加工放电的过程进行了描述。
张富琦唐晖
关键词：高速摄影线切割加工多通道放电
0.1微米电子束曝光实验装置的实用化研究
本文主要论述0.1微米电子束曝光机实用化研究的内容.简介系统的组成及达到的主要性能指标.
薛虹顾文琪张福安课敏唐晖张今朝
关键词：电子束曝光机性能指标系统组成
文献传递
0.1微米电子束曝光实验装置的研制
顾文琪张福安王理明薛虹潭敏唐晖陈志琪安秉谦张今朝王启祥卢维美王岩红
“0.1微米电子束曝光及实验装置的研制”是中国科学院“九五”应用研究与发展重大项目。该装置也是我国第一台自行研制的0.1微米电子束曝光机。微电子光刻设备是制造大规模集成电路的先导和基础。在众多的微电子设备中，以电子束...
关键词：
关键词：电子束曝光机光刻技术
电子束缩小投影成像曝光机控制系统
本文介绍了电子束缩小投影成像曝光机的计算机控制系统,重点介绍了其系统结构、各部分指标参数.
张今朝方光荣唐晖
关键词：曝光机控制系统电子束曝光机光刻技术
文献传递
高性能偏转放大器的研制
介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描频率。
唐晖卢维美薛虹
关键词：电子束曝光机偏转放大器
文献传递网络资源链接
电火花线切割加工放电过程的高速摄影研究被引量：3
1995年
应用高速摄影技术研究电火花线切割加工（ＷＥＤＭ）放电、热蚀、气泡运动和金属材料的抛出过程，并对线切割加工放电的过程进行了描述。
张富琦唐晖
关键词：高速摄影线切割加工电火花切割放电过程
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