傅博
- 作品数：6 被引量：6H指数：2
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法
- 本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层；在其上旋涂PI预聚体，经热固化形成PI薄膜；然后旋涂光刻胶，光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层；采用剥离...
- 姜澄宇马炳和傅博董拴成
- 文献传递
- 溅射-电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列被引量：4
- 2011年
- 为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上溅射沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在引线区底膜上电镀沉积铜膜,再剥离成型铜引线。通过电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜膜,使得引线电阻远小于热敏元件阻值,有利于减小引线的热敏干扰。经热敏性能测试,其电阻温度系数达到3.6×10-3/℃以上,线性度优于0.7%,并且热敏响应速度极快;结合风洞试验验证了该传感器测量壁面剪应力的有效性,并且获得了较好的测量重复性。该传感器阵列结构简单,工艺成本和复杂度较低,提高了用于非平面应用时柔性热膜元件与引线间的连接可靠性,为高曲率表面的非破坏性动态流场参数测量提供了新手段。
- 马炳和傅博李建强邓进军董拴成
- 关键词：溅射电镀剪应力
- 一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法
- 本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层；在其上旋涂PI预聚体，经热固化形成PI薄膜；然后旋涂光刻胶，光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层；采用剥离...
- 马炳和傅博董拴成
- 柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究被引量：2
- 2011年
- 分析了热敏薄膜传感器测量流场温度和壁面剪应力的原理,选择聚酰亚胺为衬底材料,金属镍为热敏材料,提出了一种电镀引线的柔性热敏薄膜传感器阵列结构及其制作工艺。经热敏性能测试,该柔性热敏薄膜传感器阵列结构简单,可贴附于高曲率复杂表面,实现非破坏动态流场参数测量。
- 傅博马炳和邓进军董拴成
- 关键词：电镀
- 水下全柔性微型热敏薄膜电阻传感器阵列及其制作方法
- 本发明公开了一种水下全柔性微型热敏薄膜电阻传感器阵列及其制作方法。属于传感器技术领域。该方法首先在全柔性衬底1上沉积金属导线层，通过刻蚀、剥离后形成导线3；在制作完导线的全柔性薄膜衬底1上沉积热敏薄膜电阻层，通过刻蚀、剥...
- 马炳和任进忠杨少华傅博邓进军苑伟政姜澄宇
- 一种柔性衬底上的薄膜图形化方法
- 本发明公开了一种柔性衬底上的薄膜图形化方法，属于微细加工领域。该方法直接贴附整张干膜进行光刻曝光，避免了在柔性衬底上旋涂液态光刻胶带来的平整性、均匀性差而影响曝光精度的问题，也避免了液态光刻胶固化等复杂工艺步骤；利用剥离...
- 马炳和傅博任进忠邓进军姜澄宇马志波叶芳
