何维玮
- 作品数：6 被引量：6H指数：1
- 供职机构：南开大学信息技术科学学院机器人与信息自动化研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程电气工程更多>>
- 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
- 2005年
- 在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
- 王凯赵新何维玮卢桂章
- 关键词：优化设计MEMS
- 基于微电容测量IC的加速度计电路设计与实现
- 为了完成电容式微加速度计测量电路的设计，本文对电容式梳齿微加速度计进行了系统级的集总电路建模和仿真。虽然商业化MEMS CAD软件CoventorWare和Intellisuite都有系统级仿真模块，使用非常便利，但仿真...
- 何维玮
- 关键词：加速度计电路设计微电容测量时域仿真
- 文献传递
- 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
- 在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路...
- 王凯赵新何维玮卢桂章
- 关键词：优化设计MEMS
- 文献传递
- 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
- 本文在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制...
- 王凯赵新何维玮卢桂章
- 关键词：MEMS
- 文献传递
- 微电子机械(MEMS)的设计与新器件研究
- 卢桂章赵新安刚张蕾谭宜勇孙广毅王磊金桐何维玮赵旭孙程
- 课题组主要成员谭宜勇博士在北京大学微电子所作为主要成员参与的针对Bosch/RIE/ISOTROPIC等工艺的二维仿真器研究相关成果，已经集成到IntelliSense公司MEMS设计软件之中，成为IntelliSens...
- 关键词：
- 关键词：微电子机械
- 基于AD7745的微电容加速度计测量电路设计与实现被引量：6
- 2008年
- AD7745是世界上首款24bit数字输出的电容读取芯片,可以测量一对差分电容。它的输入共模偏置电容最大可到17PF,输入电容变化范围为±4pF,采样频率/通频带为10Hz到90Hz。基于AD7745的微电容加速度计测量电路系统有两种输出方式:一方面通过16bit的D/A将数字信号转换成模拟电压信号,实时输出到示波器;另一方面可将AD7745的24bit输出结果通过串口输入到计算机里,由计算机实现波形显示、分析。对PCB布线进行优化后,试验测得采样频率为90.9Hz时,AD7745数据的实际有效位数为14.5bit,对应分辨率为0.37fF。
- 何维玮赵新李毅堂卢桂章
- 关键词：电容式微加速度计测量电路
