江苏省薄膜材料重点实验室
- 作品数:23 被引量:27H指数:3
- 相关机构:苏州大学中国科学院哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目苏州市科技计划项目更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 沉积气压对磁控溅射制备ZnO薄膜的结构与光学性能影响被引量:9
- 2009年
- 采用CS-400型射频磁控溅射仪在Si(111)和石英基底上成功的制备了ZnO薄膜,分别用XRD、SEM、紫外-可见光分光光度计和荧光分光光度计表征样品的结构和光学性质。实验表明,采用射频磁控溅射制备的ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构的(002)峰和(101)峰的两种取向。在沉积气压〉1.0Pa时所制备的ZnO薄膜具有(002)择优取向,并且十分稳定。SEM图表明,ZnO薄膜颗粒大小较为均匀,晶粒尺寸随着气压升高而变小,沉积气压不同时,薄膜样品的生长方式有所差异。在400~1000nm范围内,可以看出除0.5Pa下制备的ZnO薄膜外,其余ZnO薄膜在可见光区域的平均透过率超过80%,吸收边在380nm附近,所对应的光学带隙约为3.23~3.27eV,并随着沉积气压上升而变大。ZnO薄膜的PL谱上观察到了392nm的近紫外峰和419nm的蓝峰;沉积气压对ZnO薄膜的发光峰位和峰强有影响。
- 蒋平吴雪梅诸葛兰剑吴兆丰
- 关键词:射频磁控溅射ZNO薄膜透射率光学带隙PL谱
- 不同子格随机横场作用下混合伊辛自旋系统的磁学性质
- 2005年
- 在有效场理论框架内,对简立方晶格中不同子格随机横场作用下混合自旋系统,推导系统的磁化表达式,重点研究一些相变特性,给出了系统的相图,得到了一些有意义的结论.
- 陈强晏世雷
- 关键词:磁学性质混合自旋系统有效场理论
- 双离子束溅射室温沉积生长SiC薄膜
- <正>SiC作为一种优秀的微电子材料,以其禁带宽、饱和电子漂移速度大、临界雪崩击穿电场高和热导高的特点,在大功率、高频、耐高温、抗辐射器件及光电子集成器件方面具有重要的应用价值而备受重视。工艺上又可以与集成电路兼容,被期...
- 金成刚吴雪梅诸葛兰剑
- 文献传递
- Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响被引量:3
- 2008年
- 采用射频磁控溅射方法在导电玻璃和石英衬底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂量的ZnO薄膜。XRD显示,适当的Cu掺杂增强了ZnO的(002)衍射峰的强度;用紫外分光光度计测量了样品的透光性,结果显示,随掺杂量的增加,其透光性减弱,但在Cu掺杂量为9.6%时其透光性还在60%以上。用四探针测量了样品的表面电阻率,薄膜的电阻率随Cu掺杂量的增加而增加。
- 徐庆岩吴雪梅诸葛兰剑陈学梅吴兆丰
- 关键词:CU掺杂ZNO薄膜
- 基片下磁场对溅射薄膜宏观形貌的影响被引量:1
- 2005年
- 通过屏蔽传统磁控溅射设备阴极内的磁场和在基片下放置永磁铁,使来自基片下的磁场发挥作用,研究了此外加磁场在溅射过程中对薄膜沉积所产生的影响。用这种方法沉积出的Cu、Al的薄膜的宏观形貌为:膜的中央有一圆斑,在圆斑的外围有环。Al薄膜的中央圆斑处没有物质,为空白圆斑;而Cu薄膜的中央圆斑处有物质。对这一实验现象的产生机理,初步认为是成膜粒子在磁场中表现出的波动性。
- 储开慧狄国庆
- 关键词:磁控溅射膜厚梯度磁场
- 硼碳氮材料的研究进展
- 2008年
- 硼碳氮材料以其优异的机械、电学和光学性质,在工业领域、光电子领域等方面具有广阔的应用前景。对硼碳氮材料的研究进展作一综述,介绍了材料的结构特性、性质特点、制备方法、表征手段以及在器件方面潜在的应用。结合本实验研究小组的工作,阐述了硼碳氮材料的结构以及其高硬度特性。
- 杨旭敏吴雪梅诸葛兰剑周飞
- 关键词:高硬度
- 使用微感应耦合等离子体射流源高速沉积类金刚石碳膜被引量:1
- 2008年
- 提出了一种基于13.56MHz激发的微感应耦合等离子体射流源,含碳的等离子体射流在绕有水冷线圈的石英管中产生.激光拉曼光谱及紫外-可见光谱分别用以研究基片负偏压对所生长的非晶碳膜结构特征的影响.结果表明:碳基微等离子体射流具有很强的活性,碳膜的生长速率高达0.8μm/min,但随着衬底负偏压的增加而降低;Raman光谱显示在1 350cm-1、1 580cm-1附近存在D峰、G峰,是典型的类金刚石碳膜;薄膜中碳主要以sp2、sp3碳及无序的聚合碳链形式存在,随偏压的增加,薄膜中聚物碳链结构被打断,分解形成sp2、sp3碳杂化态,Raman荧光本底减弱,sp2和sp3的含量之比增加,光学带隙呈现降低趋势.
- 孙刚辛煜卢春山
- 关键词:类金刚石薄膜RAMAN光谱光学带隙
- 结合经典光伏效应和铁电光伏效应提高器件光伏特性
- 半导体光伏器件实现光电转换需要两个条件:(1)光生电子-空穴对;(2)电子-空穴对在内建电场作用下的分离.这个过程中,金属电极中的光激发电子则通常不被考虑.这里,我们提出利用具有低功函数的金属作为电极来提高铁电材料PLZ...
- 苏晓东章灵军沈明荣曹梦瑜张婧娇代智华邹贵付何夕云程文秀
- 热丝法制备锂硫电池正极材料
- 2010年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)裂解噻吩的方式制备了新型锂电池正极材料,通过SEM、IR、Ram an和EDAX对正极材料的结构和性能进行表征.结果表明,产物为颗粒状薄膜材料,颗粒的平均大小约为400nm,且主要由碳、硫两种元素组成.通过充放电和循环性能测试对其电化学性能进行了初步考察.结果表明,在100 mA/g的电流密度下,电池的首次放电比容量为604 mAh/g,15次循环后电池比容量维持在336 mAh/g.讨论了放电电压平台低及循环容量衰减的原因.
- 张行王传新汪建华皮华滨吴雪梅
- 关键词:热丝化学气相沉积锂电池正极材料
- 基于静电相互作用模型的光子晶体拓扑相变被引量:1
- 2022年
- 对于由完美电导体圆柱构成的蜂窝晶格光子晶体,类比静电相互作用,提出一种可计算晶格内与晶格间耦合强度的数学模型,通过对比晶格内耦合和晶格间耦合,在结构层面解释了量子自旋霍尔效应。计算结果表明,随着圆柱半径的增加,晶格内与晶格间耦合强度发生变化,即引发拓扑相变。数值模拟结果证实转变位置两侧的光子晶体能带结构发生了拓扑反转,在不同拓扑相的光子晶体界面存在单向传播的拓扑光波导。所提出的数学模型可以用于预测光/声拓扑绝缘体的拓扑相变,为后续的元器件开发提供参考。
- 陈家禾李燕方杭志宏
- 关键词:物理光学光子晶体静电相互作用拓扑绝缘体