上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
- 作品数：96 被引量：227H指数：8
- 相关作者：刘晓东赵聪张佳骏更多>>
- 相关机构：北京邮电大学电子工程学院上海工程技术大学机械工程学院新疆大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”上海市浦江人才计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
- 仿昆扑翼微飞行器电磁驱动电路设计与制造被引量：2
- 2019年
- 针对电磁驱动方式的仿昆扑翼微飞行器,设计了电磁线圈驱动电路,电路能够驱动微飞行器扑动双翼。驱动电路利用电池组和升压(BOOST)电路实现电路供电。研制了产生两路电压控制信号的最小系统板,能够在上位机在线实时控制输出信号的频率和幅值。电压控制信号通过电路后,电路输出稳定驱动电流,实现对仿昆扑翼微飞行器翅膀的控制。
- 吴彬彬张卫平邹阳王晨阳孙浩陈畅
- 关键词：电磁驱动BOOST电路
- 基于侧面DLP的3D打印技术制作微流控芯片被引量：4
- 2022年
- 微流控芯片的关键技术是内部封闭管道的制备,其中一步打印出微流控芯片及接口尤为重要。基于数字光处理(DLP)技术提出了一种新型的侧面曝光打印技术,并利用4F光路以及运动系统完成平台搭建。该3D打印系统的投影图像分辨率为12.5μm,靶面约为16 mm×10 mm。相比常用的上曝光或下曝光3D打印技术,其容易消除气泡且装置简单。通过对封闭管道打印机制分析及实验优化,可实现直径400μm的圆形或边长400μm的方形等封闭管道打印。为验证侧面曝光打印平台打印微流控芯片的可行性,设计具有一体化封闭管道和接口的模型进行打印测试,40 min可以打印一个6 mm厚的微流控芯片,管道打通率为100%。结果表明该平台可用于快速制作微流控芯片,未来可用于微流控及微纳制造领域。
- 陈晓霞龙妍婷张楚赵飞李闯吴小婷王冲陈翔
- 关键词：3D打印微流控芯片
- 基于氯盐掺杂的单壁碳纳米管室温气体传感器
- 2023年
- 对单壁碳纳米管进行掺杂可以促进特定气体分子与单壁碳纳米管之间的电荷转移,从而提高其响应与选择性。使用氯化铯、氯化金对单壁碳纳米管进行掺杂,并在室温下使用Raman光谱研究了单壁碳纳米管与氯盐之间的界面电荷转移,研制了基于氯盐掺杂的单壁碳纳米管的二氧化氮室温气体传感器。研究结果表明,氯盐掺杂的单壁碳纳米管的D峰和2D峰的位置发生了蓝移。氯化铯掺杂的单壁碳纳米管气体传感器对于体积分数为1×10-6的二氧化氮表现出了高达230%的响应度,以及优异的选择性与可重复性。实验结果表明,氯盐掺杂可以改变单壁碳纳米管的费米能级,从而影响单壁碳纳米管对气体分子的传感性能。
- 朱明奎田阗张如轩尹欢苏言杰
- 关键词：气体传感器氯化铯二氧化氮
- 仿蝴蝶扑翼飞行器:研究进展、挑战与未来发展被引量：2
- 2023年
- 以昆虫为灵感设计的仿生扑翼飞行器在近三十余年来的时间里发展迅速,而蝴蝶作为众多昆虫中极富特色的一种也得到了许多研究者的关注。国内外以蝴蝶为研究对象进行了许多的仿生学研究和仿生飞行器研制,尤其是近十年来仿蝴蝶扑翼飞行器的设计与制造取得了较大的进展。对这一热点领域的研究进行了综述。首先从仿蝴蝶扑翼飞行器(BIFAV)的升力机制研究、结构设计与制造以及驱动与控制方面,综述近年来所取得的研究成果;其次指出仿蝴蝶扑翼飞行器目前在大小尺度、飞行灵活性、续航时间、控制鲁棒性以及仿生的逼真性方面仍然存在研究挑战;最终表明其未来的研究将朝着更小的尺寸、更灵活的飞行与更可靠的控制、更高的仿生程度等方向进一步完善。
- 肖扬宏崔峰张逸晨赵佳欣吴朝封肖一鸣
- 微模具重复利用的高深宽比铜微结构微电铸复制技术
- 2024年
- 针对紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺的去胶难题,提出了一种以脱模代替去胶的改良工艺,用于批量制造高深宽比铜微结构。该工艺以可重复利用的硅橡胶软模具代替传统的SU-8光刻微模具,采用硅通孔(TSV)镀铜技术进行微电铸填充,然后通过直接脱模实现金属微结构的完全释放,既解决了去胶难题,又能够解决高深宽比微模具电铸因侧壁金属化导致的空洞包夹问题,同时可以大幅降低成套工艺成本。仿真和实验结果显示,热处理可以改善脱模效果,显著降低脱模损伤,支持微模具重复利用。采用初步优化的改良工艺已成功实现深宽比约3∶1的铜微结构的高精度复制。
- 苏少雄孙云娜宋嘉诚吴永进姚锦元丁桂甫
- 多环谐振式微机械陀螺频率跟踪电路研究被引量：2
- 2020年
- 由于多环谐振式微机械陀螺的谐振频率较高,传统的数字控制电路对陀螺幅点信号的频率跟踪难以同时兼顾精度和速度的要求。在传统半球陀螺数字控制电路的基础上,提出了一种适用于多环谐振式微机械陀螺仪的频率跟踪电路,并首次运用于多环谐振式微机械陀螺。该电路以高速A/D转换电路为基础,通过对幅点信号高速采样计算频率和相位信息,并通过CORDIC算法产生输出信号。测试结果显示,该电路使多环谐振式微机械陀螺幅点信号的频率跟踪精度达到了0.78Hz,频率跟踪时间小于40μs,使控制电路的性能得到了极大提升。
- 薛冰张卫平王子杰田梦雅谷留涛
- 关键词：CORDIC
- 基于FPGA的压电陀螺数字化检测电路设计被引量：3
- 2016年
- 针对压电微固体模态陀螺的信号采集与算法要求,设计了基于现场可编程门阵列(FPGA)的兼具高精度高采样频率的陀螺数字检测系统。介绍了该系统的原理与实现方法。FPGA主控芯片选择XC6SLX25,ADC选择AD7960芯片(18 bit,5MSPS)。经试验验证,制作的样机可以同时采集三路输出信号,并实时处理传给上位机显示。测得陀螺共振频率稳定在349.89 k Hz,上下波动范围8 Hz,参考端输出电压峰峰值的均方差为0.004 V。检测系统稳定,具有较高精度。研究的数字化检测电路能很好地应用于MEMS微陀螺检测信号的处理,提高MEMS微陀螺的稳定性和抗干扰性。
- 李国斌吴校生
- 关键词：压电陀螺现场可编程门阵列FIR滤波
- SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展被引量：2
- 2018年
- 综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
- 余开庆程萍丁桂甫丁桂甫赵小林姚景元
- 关键词：碳化硅微加工工艺高温电容压力传感器
- 应用于微型扑翼飞行器的实时视觉系统设计被引量：3
- 2020年
- 提出并设计了一套应用于小尺寸、高频抖动的微型仿生扑翼飞行器的实时视觉系统,包括构成硬件基础的微型摄像头模块、5.8GHz传输模块和无线图传接收模块,以及构成软件模块的两种算法,其中一种是利用角点检测与LK光流法、基于卡尔曼低通混合滤波的实时电子稳像去抖算法,另一种是基于YOLOv3的人像识别算法。进行了微型仿生扑翼飞行器的飞行硬件搭载测试实验,实验结果表明,所提出的电子稳像算法可以去除x轴66.56%、y轴73.15%的抖动,人像识别算法可以达到96%以上的准确率,同时图传分辨率在720×480像素时,稳像去抖算法时延为6.33ms,人像识别算法时延为20.5ms,总时延满足实时要求,完成了实时去抖与人像识别系统的设计目标。
- 王昕鹏张卫平牟家旺陈子豪
- 关键词：微型扑翼飞行器卡尔曼滤波
- SiC晶须和SU-8复合增强的MEMS惯性开关研究
- 2021年
- MEMS惯性开关是通过检测外界的加速度来控制电路通断的器件,在测试控制、消费电子、生物医疗等领域都有较为广泛的应用。之前对惯性开关研究多偏向于性能角度,例如增强接触时间或可以感应多个方向加速度,而忽略了惯性开关中材料的创新性。SU-8负性光刻胶和SiC晶须因其在微机电系统加工技术中的良好表现而引起关注,因此采用SiC晶须掺杂的SU-8负性光刻胶作为MEMS惯性开关可动电极,通过牺牲层工艺将可动电极从基底上脱离之后与固定电极组合构成惯性开关。对掺杂前后的SU-8材料进行了杨氏模量等力学参数的测试,并对制作的惯性开关器件进行了仿真和阈值加速度测试,结果显示掺杂2wt%的SiC晶须之后,增强复合材料的杨氏模量相比纯SU-8胶提高了12%,惯性开关的阈值加速度提高了20%。
- 郑玮李亚辉刘扬张浩东杨卓青
- 关键词：SU-8光刻胶SIC晶须
