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埃地沃兹日本有限公司

作品数：271 被引量：0H指数：0
相关机构：日本电产三协株式会社SKF磁性机械技术公司株式会社有泽制作所更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术文化科学金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 271篇中文专利

领域

  • 50篇一般工业技术
  • 12篇自动化与计算...
  • 7篇文化科学
  • 5篇金属学及工艺
  • 4篇电气工程
  • 2篇化学工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇理学

主题

  • 244篇真空泵
  • 70篇排气
  • 60篇转子
  • 44篇旋转体
  • 36篇轴承
  • 33篇分子泵
  • 31篇气口
  • 30篇涡轮分子泵
  • 29篇控制装置
  • 26篇排气口
  • 23篇定子
  • 20篇圆筒
  • 20篇磁轴承
  • 19篇堆积物
  • 18篇转子轴
  • 17篇气体
  • 17篇感器
  • 17篇传感
  • 16篇外周
  • 15篇电流

机构

  • 271篇埃地沃兹日本...
  • 6篇日本电产三协...
  • 2篇株式会社有泽...
  • 2篇SKF磁性机...
  • 1篇爱德华兹有限...

年份

  • 22篇2024
  • 28篇2023
  • 44篇2022
  • 37篇2021
  • 27篇2020
  • 26篇2019
  • 12篇2018
  • 15篇2017
  • 24篇2016
  • 14篇2015
  • 4篇2014
  • 9篇2013
  • 8篇2012
  • 1篇2008
共 271 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
真空泵、用于其的定子柱及其制造方法
提供不会伴随排气性能的降低及部件个数、成本的增加地，适于防止旋转体的破坏能量导致的定子柱的龟裂、由于定子柱的损坏而产生的碎片从吸气口飞出等的不良的、可靠性高的真空泵和用于其的定子柱及其制造方法。在具有具备吸气口（1A）的...
三桥启太三轮田透
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真空泵的排气系统、装备于真空泵的排气系统的真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法
实现精度良好地测量旋转部的温度的真空泵的排气系统、真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法。在有关本实施方式的真空泵的排气系统中，真空泵至少在旋转部的温度测量时，供给以下的某一方的量的吹扫气体：在比温度...
桦泽刚志
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真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件
提供能够使真空泵控制装置的变薄・变轻且紧凑化、以及减少成本的真空泵装置。在将泵主体单元（11）和控制泵主体单元（11）的驱动的控制单元（12）一体化的真空泵装置（10）中，构成为在泵主体单元（11）的基部（15）和控制单...
坂口祐幸孙彦斌三枝健吾大森秀树
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涡轮分子泵
本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进...
坂口祐幸三轮田透和田昭彦
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真空泵及真空泵用旋转体
提供一种能够降低在旋转体与旋转轴的结合部位产生的应力的真空泵。具备旋转体(103)，所述旋转体(103)在旋转叶片形成部(217)的外周具有旋转叶片(102b、102c)，且被螺栓(214)紧固于转子轴(113)，能够与...
时永伟铃木春树
真空泵及用于该真空泵的挠性罩及转子
本发明提供一种真空泵及用于该真空泵的挠性罩及转子，其抑制由工艺气体导致的锈或颗粒等异物侵入到半导体晶片的制造工序中。真空泵（1）具备：壳体（10），具有气体吸气口（12a）及气体排气口（11a）；和转子（20），具有朝向...
川西伸治坂口祐幸三枝健吾
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真空泵、真空泵所具备的旋转部及不平衡修正方法
本发明在基于质量除去的平衡修正中，实现具有减少应力集中的构造的真空泵、真空泵所具备的旋转部及不平衡修正方法。在本实施方式中，通过将旋转圆筒体的下端部(排气口侧)的至少一部分沿轴向切削来形成不平衡修正部(除去部)。优选地，...
三桥启太大木俊幸
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固定侧部件及真空泵
本发明提供一种在真空泵中配设的固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵，在真空泵中，在作为压力较高从而生成物（堆积物）容易堆积的部分即螺纹槽式泵部的下侧，不配设隔热件，便能防止生成物的堆积。在具备螺纹槽式泵部的真空泵中，配设...
坂口祐幸伊藤彰浩大立好伸前岛靖高阿田勉
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固定部件及真空泵
提供促进从表面起的热辐射和向邻接部件的热传导的固定部件、以及内包有该固定部件的真空泵。出于提高转子部的散热的目的，为了从螺纹槽间隔件向基部及固定翼间隔件侧高效地散热，对螺纹槽间隔件的既定部分实施表面处理去除加工。更详细而...
坂口祐幸奧寺智
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排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵
本发明提供一种堆积物检测装置和具备该装置的排气泵，其不管处理中使用的气体的种类、流量如何，而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。排气泵（P）的泵控制装置（50）包含...
榎本良弘
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