江苏鑫华半导体材料科技有限公司
- 作品数：93 被引量：39H指数：4
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- 一种用于生产硅烷的隔壁塔
- 本实用新型公开了一种用于生产硅烷的隔壁塔，塔身自上而下依次为上塔区1、中塔区2和下塔区3，塔身一侧为进料侧，塔身另一侧为出料侧；所述中塔区包含靠近进料侧的中塔板区和靠近侧线出料侧的中填料区，所述以中塔板区和中填料区以隔壁...
- 吴锋田新王德芸崔会为
- 一种硅块破碎装置及使用方法、硅块破碎方法及应用方法
- 本发明涉及破碎装置技术领域，尤其涉及一种硅块破碎装置，包括：容器，提供待破碎硅棒的容纳空间，且在容纳空间内执行破碎动作；两脉冲电极，在容纳空间内悬挂设置，且悬挂高度及两脉冲电极在水平面内的位置均可调节；容器内设置有高纯水...
- 吴锋田新王付刚徐玲锋陈卓
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- 硅块破碎装置
- 本实用新型公开了一种硅块破碎装置。该破碎装置包括：传动装置；加热区、缓冲区、冷冻区和重锤区，加热区、缓冲区、冷冻区和重锤区沿传动装置的长度方向依次布置，加热区内设有加热设备和进料口，冷冻区内设有冷冻设备，重锤区上方设有重...
- 魏富增张天雨田新李嘉佩闫家强孙志东
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- 一种石墨隔热装置及具有石墨隔热装置的CVD反应器
- 本实用新型提供了一种石墨隔热装置及具有石墨隔热装置的CVD反应器，石墨隔热装置包括石墨内筒，石墨内筒包括两组以上的层级结构，每组层级结构包括两个以上的石墨本体，所述石墨本体的上端设有第一榫眼结构，下端设有第一榫头结构，石...
- 于伟华蒋文武蒋立民田新张春伟
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- 集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践被引量：2
- 2022年
- 国内高端电子级多晶硅长期被国外垄断,理论研究和产业化实现都与国外存在差距,严重威胁了集成电路行业的安全发展。江苏鑫华半导体通过在超痕量杂质提纯技术、非接触硅料精制技术等瓶颈问题的突破,成功构建了5000 t/a电子级多晶硅生产体系,在高等级硅料产品实现、新工艺体系构建、高效产品评价等方面填补国内空白,达到了国际领军企业的同等水平。本文通过分析客户质量需求,深入认识了硅料产品关键参数指标,指出了制约高端电子级多晶硅的技术瓶颈和解决思路。
- 吴锋
- 关键词：集成电路
- 多晶硅还原炉倒棒原因分析被引量：2
- 2016年
- 分析了多晶硅还原炉倒棒的危害,并对多晶硅还原炉倒棒的原因进行了探究,最后给出了预防多晶硅还原炉倒棒的有效措施,为预防多晶硅还原炉倒棒提供了一些参考。
- 于伟华王彬田新张春伟
- 关键词：多晶硅还原炉
- 多晶硅还原炉
- 本实用新型公开了多晶硅还原炉。该多晶硅还原炉包括：炉体；以及炉顶，所述炉顶设在所述炉体的顶部，所述炉顶的内表面设有热反射涂覆层。该多晶硅还原炉的炉顶内表面设有热反射涂覆层，由此，可以有效地将热量反射至硅棒顶部，从而提高硅...
- 吴锋黄金发韩秀娟
- 颚式破碎机动臂的连杆机构和具有其的颚式破碎机
- 本实用新型公开了一种颚式破碎机动臂的连杆机构和具有其的颚式破碎机，包括：两个固定轴，所述固定轴为铬钼钢件，所述固定轴具有主段和配合段，所述配合段的表面粗糙度达0.6‑0.2μm；摆杆，所述摆杆的两端分别连接所述两个固定轴...
- 赵金波韩锋
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- 一种多晶硅清洗液的评估方法
- 本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种多晶硅清洗液的评估方法，包括以下步骤：建立循环系统，自对多晶硅清洗液进行存储的槽体一处对部分清洗液进行抽取，且自另一处将抽取的清洗液返送回槽体内；对循环系统内的清洗液进行吸光度分...
- 张天雨王敏王付刚吴鹏
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- 电子级多晶硅生产系统和方法
- 本发明公开了电子级多晶硅生产系统和方法。其中，电子级多晶硅生产系统包括：预处理装置，其包括多个串联的吸附柱，所述吸附柱中设有吸附载体和吸附负载组分，所述吸附负载组分包括四氯化铂、氯化亚铜中的至少之一；精馏装置；沉积装置；...
- 吴锋孙江桥王德芸张天雨
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