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云南鑫耀半导体材料有限公司

作品数:110 被引量:2H指数:1
相关机构:云南中科鑫圆晶体材料有限公司昆明云锗高新技术有限公司云南大学更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺理学化学工程更多>>

文献类型

  • 96篇专利
  • 13篇期刊文章
  • 1篇标准

领域

  • 16篇电子电信
  • 10篇金属学及工艺
  • 8篇理学
  • 7篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 70篇单晶
  • 28篇VGF
  • 21篇晶片
  • 21篇晶体
  • 20篇单晶生长
  • 17篇籽晶
  • 16篇锗单晶
  • 13篇碳化硅
  • 12篇砷化镓
  • 12篇磷化铟
  • 12篇半导体
  • 11篇晶体生长
  • 11篇
  • 9篇单晶炉
  • 9篇坩埚
  • 8篇单晶片
  • 8篇碳化硅单晶
  • 8篇硅单晶
  • 7篇石英管
  • 7篇清洗方法

机构

  • 110篇云南鑫耀半导...
  • 68篇云南中科鑫圆...
  • 40篇昆明云锗高新...
  • 8篇云南大学
  • 2篇昆明理工大学
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇有色金属技术...
  • 1篇有研国晶辉新...
  • 1篇广东先导微电...

作者

  • 2篇王茺
  • 1篇孙聂枫
  • 1篇杨杰
  • 1篇邱锋
  • 1篇钱俊兵

传媒

  • 6篇云南化工
  • 3篇半导体技术
  • 2篇云南冶金
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇稀有金属与硬...

年份

  • 17篇2024
  • 21篇2023
  • 27篇2022
  • 12篇2021
  • 4篇2020
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 6篇2017
  • 9篇2016
  • 2篇2015
110 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种碳化硅籽晶的粘接后的碳化方法
本发明属于碳化硅单晶生长前处理领域,具体公开一种碳化硅籽晶粘接后减少空腔的碳化方法,(1)把高纯石墨板放在井式炉炉底,然后再把石英筒放置在石墨板上;(2)把粘接好籽晶的石墨台放置到石英筒内,在石墨台上的籽晶上放置一张圆形...
黄四江王美春沙智勇刘得伟尹归杨海平殷云川
一种夹渣含杂的单晶锗废料除杂方法
本发明属于锗单晶生长技术领域,具体公开一种夹渣含杂锗废料除杂方法,包括以下步骤:单晶锗生长废料融化;废料夹渣降温再结晶:锗废料完全融化为熔融态后,调整加热功率使温度下降15℃~50℃,使熔体再结晶;腔室流场控制:经过再结...
刘得伟李宝学杨涛尹正雄赵伟周安祥陆贵兵普世坤
文献传递
磷化铟晶圆片清洗装置
本实用新型公开了一种磷化铟晶圆片清洗装置,包括清洗池以及设置在清洗池旁的自动取料机构,清洗池左壁和清洗池右壁上从上到下分别设有若干对喷淋器,自动取料机构包括机架,机架上设有旋转座,旋转座上设有竖直布置的电动执行器,电动执...
韦华杨春柳赵兴凯白良李世强黄国勇钱俊兵
PVT法生长碳化硅单晶用的石墨盖
本实用新型涉及碳化硅单晶生长热场装置领域,具体公开一种PVT法生长碳化硅单晶用的石墨盖,包括籽晶托和导流部件,所述导流部件与籽晶托通过螺纹或卡扣连接,包括圆筒状的扩径环和导流环,所述扩径环和导流环之间间隔一定距离,和籽晶...
刘得伟黄四江李宝学王美春沙智勇殷云川尹归杨海平普世坤
超高纯度锗多晶的制备方法
超高纯度锗多晶的制备方法,提供一种通过多次区熔,有效提高锗多晶纯度的锗多晶超高纯度的制备方法。本发明的制备方法应用于锗多晶制备装置,该制备装置包括石英舟、石英管、区熔线圈、支架、进气管、排气管以及区熔小车,石英舟放置在石...
李学洋柳廷龙米家蓉包文瑧普世坤张朋滕文
文献传递
一种VB法与VGF法结合快速生长低位错砷化镓单晶的生长装置及方法
本发明公开了一种VB法与VGF法结合快速生长低位错砷化镓单晶的生长装置,由炉体、石墨底座、PBN坩埚和提升装置组成;所述炉体包括6个加热区域和控制加热区域温度的6个温控装置,从下到上依次为第一区、第二区、第三区、第四区、...
韩家贤王顺金韦华赵兴凯陈娅君何永彬柳廷龙刘汉保黄平陈飞鸿李国芳
一种大尺寸VGF法砷化镓的装料装置及装料方法
一种大尺寸VGF法砷化镓的装料装置及装料方法,涉及化合物半导体晶体生长领域,尤其是一种大尺寸VB法和VGF法生长III‑V族单晶生长的一种大尺寸VGF法砷化镓的装料装置及装料方法。本发明的一种大尺寸VGF法砷化镓的装料装...
韩家贤叶晓达柳廷龙王顺金韦华赵兴凯惠峰刘汉保黄平何永彬王茺马东升唐康中刘吉材
磷化铟单晶
本文件规定了磷化钢单品的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化钢单品锭及磷化钢单晶抛光片。
孙聂枫李晓岚王阳刘惠生惠峰李素青朱刘王书杰邵会民周铁军史艳磊付莉杰王博张晓丹姜剑王宇
一种VGF法生长单晶的循环水温控装置及应用
本发明涉及一种VGF法生长单晶的循环水温控装置及应用,属于半导体材料技术领域,包括单晶炉、循环水系统,所述循环水系统包括循环水箱、主管道、支路管道,循环水依次经主管道、支路管道至单晶炉,经过单晶炉后再依次经支路管道、主管...
陈娅君刘汉保普世坤柳廷龙叶晓达柳廷芳黄平吕春富张春珊王顺金陈维迪
一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统
一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统,涉及磷化铟单晶生长制备技术领域,尤其是一种用于磷化铟单晶生长的氮气系统,其特征在于该系统包括单晶炉、氮气瓶、机械泵、减压阀和截止阀,单晶炉与氮气瓶和机械泵分别通过管道进行连通,所述的减压...
囤国超肖祥江吕春富董汝昆柳廷龙陈朝向杨嗣文梁鹏
文献传递
共11页<12345678910>
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