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上海信及光子集成技术有限公司

作品数：26 被引量：0H指数：0
相关机构：上海传输线研究所(中国电子科技集团公司第二十三研究所)更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作机构

文献类型

  • 26篇中文专利

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 8篇波导
  • 7篇光纤
  • 6篇阵列
  • 5篇延时
  • 4篇阵列波导
  • 4篇刻蚀
  • 3篇芯片
  • 3篇棱镜
  • 3篇夹具
  • 2篇导光
  • 2篇导光管
  • 2篇底座
  • 2篇调光
  • 2篇端头
  • 2篇形貌
  • 2篇延时器
  • 2篇衍射
  • 2篇应力
  • 2篇应力计算
  • 2篇载物台

机构

  • 26篇上海信及光子...
  • 6篇上海传输线研...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2022
  • 8篇2021
  • 5篇2020
  • 9篇2019
  • 2篇2018
共 26 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种阵列波导光栅的非均匀温度补偿结构及方法
本发明公开了一种非均匀温度补偿的阵列波导结构，包括阵列波导；加热区，所述加热区与所述阵列波导的部分区域相邻并对所述部分区域进行加热，其中所述阵列波导中各波导的等效加热长度随波导长度的增加而增加。通过该结构能够补偿环境温度...
李冰严亭
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封装结构
本发明的实施例公开了一种封装结构，包括：芯片；封装管壳，所述封装管壳包括管壳底座，所述芯片位于所述管壳底座顶面上方；应力调节结构，所述应力调节结构设置在所述芯片和所述管壳底座之间。通过该实施例可降低由于封装管壳和芯片之间...
李冰辛田
一种像面衍射包络平坦的波分复用器及其仿真优化方法
本发明涉及一种像面衍射包络平坦的罗兰圆结构波分复用器及其仿真优化方法，沿着光传播方向，所述波分复用器包括输入波导、输入端平板区、阵列波导区、输出端平板区和输出波导。所述输入端平板区包含输入端并行模式变换器，且所述输出端平...
李冰孟超辛田
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一种高精度N-bit可调光延时器
本发明提供了一种高精度N‑bit可调光延时器，主要由光开关芯片、准直透镜阵列、自由空间延时模块、输入输出光纤pigtail、底座组成。其中光开关芯片为多个光开关单元的阵列集成，自由空间延时模块实现多级延时单元的一体化，通...
李冰严亭赖龙斌
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有源光缆器件
本发明的实施例公开了一种有源光缆器件。该有源光缆器件包括：透镜组模块；硅基V型槽；以及设置在所述硅基V型槽内的一根或多根光纤，其中所述透镜组模块具有第一对准结构，所述硅基V型槽具有与所述第一对准结构配合的第二对准结构，所...
李冰杨伟松丁靓
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一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法及装置
本发明公开了一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法和装置。硅波导内应力的各向异性会造成不同方向上的折射率不同，通过测量偏振光经过硅波导之后的偏振旋转量能够获得硅片内的应力信息。方法包括两部分，第一步测定待测器件的快...
李冰辛田
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一种在线检测硅槽刻蚀深度的方法
本发明涉及半导体制造技术领域，提出一种在线检测硅槽刻蚀深度的方法，包括在样品晶圆和待测晶圆的掺杂区域上构造监控结构，其中所述监控结构具有参考结构和多个对照结构，所述参考结构上不具有硅槽，所述多个对照结构上分别具有多个大小...
李冰李营营
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一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构
本发明公开了一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，包括：光纤；棱镜，所述光纤耦合连接至所述棱镜的第一面；以及待测光芯片，所述待测光芯片具有槽，所述棱镜的下部插入所述槽中，所述棱镜将来自所述光纤的垂直光信号转换成水平光信号，...
李冰余朝晃严亭
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一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法及装置
本发明公开了一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法和装置。硅波导内应力的各向异性会造成不同方向上的折射率不同，通过测量偏振光经过硅波导之后的偏振旋转量能够获得硅片内的应力信息。方法包括两部分，第一步测定待测器件的快...
李冰辛田
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测量外延前后光刻套刻误差的方法及结构
本发明提供了一种测量外延前后光刻套刻误差的方法及结构，包括：在第一基底表面上进行刻蚀，形成游标主尺刻度原始标记；在第一基底表面上进行外延，形成第二基底表面，根据游标主尺刻度原始标记的现有形貌设置游标主尺刻度标记、以及设置...
李冰李营营
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