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龙云株式会社

作品数：53 被引量：0H指数：0
相关机构：东京応化工业株式会社东京应化工业株式会社日本伺服株式会社更多>>
相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术轻工技术与工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 53篇中文专利

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 18篇基板
  • 16篇喷嘴
  • 10篇涂布
  • 9篇狭缝
  • 8篇涂布装置
  • 8篇涂敷
  • 6篇支承
  • 6篇涂布液
  • 4篇贴合
  • 4篇涂布方法
  • 4篇配管
  • 4篇关节
  • 4篇玻璃基
  • 4篇玻璃基板
  • 3篇感器
  • 3篇出口
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇电动
  • 2篇电动机

机构

  • 53篇龙云株式会社
  • 14篇东京応化工业...
  • 4篇日本伺服株式...
  • 4篇东京应化工业...
  • 2篇三井化学株式...
  • 2篇地方独立行政...

年份

  • 1篇2024
  • 3篇2023
  • 2篇2022
  • 3篇2021
  • 3篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2016
  • 5篇2015
  • 4篇2014
  • 3篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2010
  • 6篇2009
  • 4篇2008
  • 9篇2006
  • 1篇2005
  • 2篇2003
共 53 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
贴合装置
贴合装置具备第一卡盘部(1A)、第二卡盘部(1B)、第一基部(21A)、第二基部(21B)以及第一浮动机构(3A)。第一卡盘部(1A)以及第二卡盘部(1B)是分别具有吸附贴合对象的吸附面的一对卡盘部，并且使彼此的吸附面(...
田边雅明
文献传递
涂布装置及涂布方法
一种涂布装置，具备：处理室；喷嘴，在该处理室内沿涂布对象面相对移动并向该涂布对象面涂布结晶材料的溶液；内压调整部，调整处理室的内压；及控制部。并且，控制部在通过喷嘴进行溶液的涂布的情况下，利用内压调整部调整处理室的内压，...
五十川良则
文献传递
位置探测装置
一种位置探测装置，其包含刻度尺，传感器和控制部分。刻度尺具有沿着活动部分移动方向的在间隔处设置的多个光发射元件。传感器，其安装在部件上，探测来自事先指定范围内的至少一个元件的光，其中该范围比最大的一个间隔长，并以在探测范...
长田真司坂田功介荫下真一
文献传递
狭缝涂布机的预备排出装置
本发明提供了一种能有效对加注辊进行粗洗和精洗的狭缝涂布机预备排出装置。附着有涂布液的加注辊向顺时针方向旋转，淋洗嘴向加注辊表面供给循环液，再用涂刷器刮落，潜入储存的洗涤液中，用第二个涂刷器刮落顽固的附着物。最后，用新液淋...
山口和伸高濑真治谷本恒夫福留主计
文献传递
定位装置
提供一种即使基板大型化也不损伤基板的、能够正确定位的定位装置。在使滑动部件(6)后退的状态下，通过使压力缸单元(2)工作，使支持部件(3)上升，在浮起部件(8)的接受部分(11)的上面接受基板(W)，然后，通过使压力缸单...
谷本恒夫楫间淳生高濑真治山口和伸
文献传递
防护膜组件的制造方法及带有防护膜组件的光掩模的制造方法
本发明的课题是抑制在裁剪时产生的异物粒子附着于防护膜组件。本发明涉及的防护膜组件的制造方法是制造包含防护膜和支撑该防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法，所述方法包含如下操作：在基板上形成防护膜(101)，将具有伸缩...
高村一夫种市大树小野阳介石川比佐子美谷岛恒明佐藤泰之广田俊明
文献传递
吸附平台
本发明的吸附平台，其目的在于不使极薄的板片状工件的表面产生凹凸的情况下，整面齐平地加以抽吸。吸附平台（1），以设定于保持面（1A）的吸附部抽吸并吸附极薄的板片状工件。本发明的吸附平台具有吸附沟（10）、多个下孔（20）以...
田边雅明
文献传递
杀菌灯
本发明提供一种杀菌灯。杀菌灯具备：放电管、接地电极部、高电压电极部、安全罩及遮光部。放电管由用于生成准分子光的放电用气体充满。接地电极部及高电压电极部通过在放电管内产生放电而激励放电用气体。安全罩由电绝缘性的有机材料形成...
中村胜
文献传递
贴合装置
贴合装置具备第一卡盘部(1A)、第二卡盘部(1B)、第一基部(21A)、第二基部(21B)以及第一浮动机构(3A)。第一卡盘部(1A)以及第二卡盘部(1B)是分别具有吸附贴合对象的吸附面的一对卡盘部，并且使彼此的吸附面(...
田边雅明
基板承载台
提供一种支持将多个基板截取为多个的大型基板时、使销与裁断预定线重叠的基板承载台。在支持板(2)上安装多个固定销(3)。在该固定销(3)的俯视位置，配置在与承载在该基板承载台上的大型基板W的有效区域外的外周缘L1相重叠的位...
楫间淳生高濑真治山口和伸山本夕记
文献传递
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