中国人民解放军76127部队
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 相关作者：葛阳更多>>
- 相关机构：中国人民解放军军械工程学院深圳大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
- 相关领域：兵器科学与技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 基于作战能力的装备经费比例优化方法被引量：3
- 2015年
- 为使装备经费效益最大化,构建一种装备经费比例优化模型。通过分析装备经费的影响因素以及各类经费之间的影响关系,建立装备经费基本模型。以最早实现期望的装备作战能力为目标,以各类装备经费比例为控制变量,构建装备经费整体优化模型,给出模型的求解方法,并通过示例进行验证。验证结果表明:该模型是有效、可行的,可为提高装备经费效益提供理论参考。
- 吴宝军葛阳
- 光助电化学刻蚀法制作大面积高深宽比硅深槽被引量：2
- 2010年
- 为解决用光助电化学刻蚀法制作大面积高深宽比硅深槽过程中出现均匀性差的问题,在分析了传统光助电化学刻蚀装置中存在的不足的基础上,设计并制作了一套新型大面积光助电化学刻蚀装置.该装置通过特殊设计的花洒式溶液循环机构和水冷隔热系统,解决了大面积硅片在长时间深刻蚀过程中出现的溶液升温和气泡堆积的问题.借助这套装置能够实现127 mm(5 inch)及以上大面积硅片的均匀深刻蚀.同时,通过采用以0.01 A/min的速率逐步增加刻蚀电流的方法,来补偿侧向腐蚀对槽底电流密度的影响,保证了整个刻蚀过程中硅深槽形貌的一致性.最终在整个127 mm硅片上制作出了各处均匀一致的硅深槽,深度达60μm、深宽比在20以上.
- 赵志刚牛憨笨雷耀虎郭金川
- 关键词：高深宽比均匀性
