上海交通大学微纳米科学技术研究院
- 作品数：849 被引量：3,559H指数：23
- 相关作者：程君实黎滨洪蒋建飞蔡琪玉肖永利更多>>
- 相关机构：中国科学院高能物理研究所南方医科大学珠江医院上海海洋大学工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程一般工业技术更多>>
- LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用
- LIGA技术是微机电系统(MEMS)的一种重要的微加工技术,介绍了LIGA、准LIGA技术的基本工艺、特点,以及在光学和光通讯、生命科学和医学、化学、微机械等领域中的应用.
- 陈迪蔡炳初
- 关键词：LIGA技术微加工技术
- 文献传递
- LIGA技术中微复制工艺的研究
- LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在H...
- 张卫平陈文元陈迪陈晓梅吴校生徐正福
- 关键词：LIGA
- 文献传递
- 一种微型直升机的设计与研制
- 本文介绍了一种微型直升机的设计与研制过程.该直升机主要由两个直径仅两毫米的电磁型微马达组成,考虑到目前微细加工和微精密装配技术的条件限制以及微马达的驱动能力,该微型直升机的整体结构设计比较简单,两个微马达由两片高强度的合...
- 肖永利曹长江李振波杨红红张琛
- 关键词：微型直升机微马达微型旋翼
- 文献传递
- 微小机电强链中的驱动器
- 本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管,详细阐述了其工作原理、机构特点,并对其优缺点进行了分析,同时提出一些改进方案和设计,可作...
- 张卫平陈文元赵小林高扬吴校生
- 关键词：驱动器微执行器
- 文献传递
- 电磁型微马达及其控制方式应用研究被引量：3
- 2000年
- 对Φ1mm和Φ2mm电磁型微马达的原理、结构进行了详细介绍。利用微马达可以作为同步电机使用的特性实现微马达的快速运转 ,同时利用其步进特性实现单步进给。为了实现微马达在精密MEMS系统中的应用 ,采用了一种简单、实用的方式来实现微马达的步距细分。该马达良好的性能和完善的控制方式提高了其实用能力。
- 曹长江杨红红张琛
- 关键词：MEMS微马达微执行器微型机器人
- 电镀层均匀性的Ansys模拟与优化被引量：15
- 2008年
- 尝试用Ansys有限元软件对电镀过程中电力线分布进行模拟分析.并采用一些辅助措施改进电镀模型,力求使电镀层厚度的均匀性有所提高。模拟分析发现:在阴阳极之间加上一块中间带孔的挡板,可以改善镀层的均匀性。当辅助挡板的孔径为5 cm、且离开阴极5.25 cm时,电镀层厚度的相对误差由无挡板时的41.8%降为24.3%。通过电镀试验验证模拟分析,结果两者显示出较好的一致性。
- 董久超王磊汤俊刘瑞汪红戴旭涵
- 关键词：微机电系统电镀均匀性有限元分析
- 溅射条件对FeSiB薄膜磁性及巨磁阻抗效应的影响被引量：5
- 2000年
- 采用射频磁控溅射法,在不同溅射条件下制备了FeSiB薄膜。研究了溅射条件对薄膜应力、磁滞回线及巨磁阻抗效应的影响。结果表明:随着溅射氩气压强的增加,薄膜内应力从压应力变为张应力,磁滞回线的形状随溅射条件的不同也发生改变。对磁各向异性的变化作了分析和讨论,而面内横向单轴磁各向异性的重要性在巨磁阻抗效应的实验中充分得到了体现。
- 禹金强周勇蔡炳初余晋岳徐东
- 关键词：磁各向异性薄膜应力巨磁阻抗效应
- PLC离线仿真软件的设计与实现被引量：9
- 2000年
- 本文以ＯＭＲＯＮ Ｃ２００Ｈ系列ＰＬＣ为例介绍了ＰＬＣ离线逻辑验证仿真软件的设计。该逻辑验证仿真软件采用面向对象和多线程的设计方法，用 ＶｉｓｕａｌＣ＋＋实现，能完全仿真ＯＭＲＯＮ Ｃ２００Ｈ系列ＰＬＣ的实际运行情况，极大方便对该系列ＰＬＣ的编程初期的离线调试。
- 周恒磊李小海程君实
- 关键词：PLC面向对象
- 具有独立子系统的DEA模型及其应用被引量：23
- 2006年
- 考虑到现有的DEA模型基本都是针对单系统的,而仅有的多系统模型[10]也是在假设决策单元相互独立并且不存在规模收益的条件下给出的,本文首先建立了3个评价具有独立子系统的决策单元相对有效性的DEA模型,即假设存在规模收益的模型(1),允许存在组内合作的模型(2),组内与组间都可以进行合作的模型(3),并通过分析3个模型之间的关系得到了决策单元通过组内或者组间合作带来的收益,同时证明了模型的一些性质以及决策单元相对有效与子系统相对有效之间的关系,进而应用这3个模型对1997年我国制造业的东、西、中三个区域的域内以及域间合作问题作了研究。结果表明:本文建立的模型不仅可以得到不同省市制造业的整体效率,而且还可以得到各省市制造业的不同行业的效率以及通过域内或域间合作带来的收益,从而得到运作和管理效率低下的根本原因。
- 段永瑞田澎张卫平
- 关键词：数据包络分析
- 外磁场方位及磁珠位置和团聚对巨磁阻生物传感器检测的影响被引量：2
- 2010年
- 实现GMR生物传感器对磁珠及其偶联的生物分子的定量检测,必须考虑磁场方位及磁珠位置和磁珠团聚对检测方法的影响。本文首先利用Comsol软件模拟了这3个因素对GMR传感器输出信号的影响,模拟结果表明,外磁场倾斜、磁珠位置偏离电阻条中心和磁珠团聚均会使信号减小,其中外磁场倾斜影响尤甚;当外磁场倾斜为0.5°时,磁珠的信号会减小80%。为了与模拟结果进行比对,制备了与模型相同的线宽为5μm的GMR生物传感器,并测量了输出信号与磁珠覆盖率的关系。测试结果显示,二者呈线性趋势,但与线性关系存在一定程度的偏离。另外,当磁珠覆盖率为23.6%时,实验测得的信号为63μV,比模拟结果的247μV偏小。实验显示这两种偏差均源于前述3个因素对GMR信号的影响。因此,用GMR传感器对磁珠进行定量检测时,为使信号大小与磁珠个数呈线性关系,应保证以下测试条件:外磁场尽可能垂直于传感器平面;测试过程中外磁场倾斜角不能变化;设法使磁珠集中于电阻条中间区域;尽量保证磁珠不团聚。
- 李福泉冯洁陈翔石海平
- 关键词：磁珠生物检测
