机械系统与振动国家重点实验室开放基金(MSV-2009-08)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：刘飏张志胜刘国良何博侠史金飞更多>>
- 相关机构：东南大学南京工程学院南京理工大学更多>>
- 发文基金：机械系统与振动国家重点实验室开放基金国家自然科学基金江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 多工步制造过程的变异流研究进展被引量：2
- 2010年
- 总结多工步制造过程中变异流理论相关研究的成果。阐述变异流理论研究的起源,并将该理论的发展过程划分为两个阶段:多种技术的探索和发展阶段;统一理论的形成和完善阶段。基于状态空间模型的变异流理论利用状态空间法,把产品的质量特征和过程参数联系起来,以描述质量特征变异在各个工步中的传递过程,该理论能有效解决复杂多工步制造过程的传感器布局、制造质量诊断、制造过程优化等系统设计和制造监控中的质量控制问题。最后,结合变异流研究发展趋势,指出变异流理论有待解决的四个重要问题。
- 张志胜何博侠史金飞刘国良张佳阳刘飏
- 关键词：状态空间模型
- 采用CONWIP投料系统的晶圆制造交货期设置方法
- 2009年
- 交货期设置是晶圆制造车间控制的重要任务之一。根据统计分析和排队理论提出3层结构交货期设置模型预测交货期。采用固定在制品(Constant WIP,CONWIP)投料保持系统在制品恒定和物料流程稳定,提出最大积聚未投放量法确定物料投放时间,采用基于模拟的等待时间分布估计等待时间。实例表明,该模型简单有效,提高了交货期预测的准确性。
- 王恒张志胜刘飏
- 关键词：晶圆制造
