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国家自然科学基金(11104166)
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
相关作者:
张红鹰
吴师岗
杜健
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相关机构:
山东理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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电子束蒸发制备HfO_2薄膜的性能研究
被引量:2
2014年
用电子束蒸发方法沉积HfO2薄膜,用X射线衍射和透射光谱测定HfO2薄膜的结构特征和光学性能,并测定薄膜的弱吸收和损伤阈值。结果表明:HfO2薄膜在沉积温度为350℃时,达到了较好的结晶程度。在可见光和近红外光区具有很高的透过率;HfO2薄膜的损伤阈值比较高,达到10.5 J/cm2。
张红鹰
吴师岗
杜健
关键词:
HFO2薄膜
X射线衍射
透射光谱
Y_2O_3稳定ZrO_2(YSZ)膜料制备与结构分析
2015年
通过YSZ膜料的制备及结构分析,得出Y2O3的最佳加入量。结果表明Y2O3的加入量达到7 mol%时,材料中Zr O2主要以高温相存在,达到了材料稳定的要求;通过对YSZ膜料和薄膜的结构检测和晶粒尺寸计算,进一步证明Y2O3对Zr O2具有良好的稳定作用;提出膜料预熔是一次高温退火过程,能使未完全发生相变的单斜相Zr O2转变为高温相。
吴师岗
张红鹰
关键词:
晶粒尺寸
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