河北省自然科学基金(E2009000208)
- 作品数：5 被引量：15H指数：3
- 相关作者：于威傅广生李晓苇刘洪飞耿春玲更多>>
- 相关机构：河北大学更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信经济管理更多>>
- 氢稀释对纳米晶硅薄膜晶化特性的影响及薄膜生长机理被引量：3
- 2012年
- 以SiH4与H2作为前驱气体,采用射频等离子增强化学气相沉积技术制备了纳米晶硅薄膜.利用Raman散射和红外吸收光谱等技术,对不同氢稀释比条件下薄膜的微观结构和键合特性进行了研究.结果表明,随着氢稀释比增加,薄膜的晶化率明显提高,而氢稀释比过高时,薄膜晶化率呈现减少趋势.红外吸收光谱分析表明,纳米晶硅薄膜中氢的键合模式与薄膜的晶化特性密切相关.随着氢稀释比增加,薄膜中整体氢含量和SiH2键合密度明显减少,而在高氢稀释比条件下,氢稀释比增加导致薄膜中SiH2键合密度和整体氢含量增加.
- 于威詹小舟李彬徐艳梅李晓苇傅广生
- 关键词：晶化率
- a-SiN:H薄膜的对靶溅射沉积及微结构特性研究被引量：8
- 2010年
- 采用对靶磁控反应溅射技术以N2和H2为反应气体在硅(100)和石英衬底上制备了氢化非晶氮化硅(a-SiN:H)薄膜.利用台阶仪、原子力显微镜、紫外-可见(UV-VIS)光吸收和傅里叶红外透射光谱(FTIR)对薄膜沉积速率、微观结构及键合特性进行了分析.结果表明,利用等离子反应溅射可在较低衬底温度条件下(Ts<250℃)实现低表面粗糙度和高光学透过率的a-SiN:H薄膜制备.增加衬底温度可使薄膜厚度减小,薄膜光学带隙Eg提高,薄膜无序度减小.FTIR分析结果表明,薄膜主要以Si-N,Si-H和N-H键合结构存在,随衬底温度增加,薄膜中的键合氢含量减小,而整体键密度和Si-N键密度增加.该微观结构和光学特性的调整可归因衬底温度升高所引起的衬底表面原子迁移率和反应速率的增加.
- 于威孟令海耿春玲丁文革武树杰刘洪飞傅广生
- 关键词：微观结构
- 偏振激光诱导的薄膜表面周期性自组织结构
- 2010年
- 本文研究了激光诱导的周期性表面结构(LIPSS)在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜表面的形成过程。在导电玻璃衬底上制备得到PMMA薄膜,经p偏振的XeCl准分子激光照射后形成周期性的褶皱结构。用原子力显微镜(AFM)观察发现,形成的褶皱结构周期具有纳米量级,且当引入外加电场时,褶皱形成所需的激光脉冲数减少到2。当外加电压增加到30V时,褶皱的周期间隔明显减小,LIPSS变得不可控,出现了柱状的自组织结构。与直接用准分子激光照射的薄膜样品相比,外加辅助电压的引入改变了PMMA样品表面褶皱结构形成的时间和周期大小,褶皱形成的内部驱动力也发生了变化。
- 于威卞雅兰张力郑炯
- 关键词：XECL准分子激光形貌
- 多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性被引量：3
- 2012年
- 采用铝诱导非晶硅薄膜晶化技术制备了多晶硅薄膜,并研究了多晶硅的成核和生长特性。非晶硅薄膜采用等离子体增强化学气相沉积法制备,其表面沉积铝薄膜后经不同温度的氮氛围退火处理。结果表明,退火后的硅薄膜层与铝层发生置换,所生长的多晶硅颗粒的平均尺寸约为150nm。X射线衍射分析结果揭示,薄膜的晶向显著依赖于退火温度,较低温度下,铝诱导晶化速率较慢,薄膜的优化晶向与非晶硅薄膜中团簇的初始原子排列趋势紧密相关。而较高温度下,铝诱导晶化促使多晶硅(111)择优成核及随后的固相生长。
- 于威郭亚平杨彦斌郭少刚赵一傅广生
- 关键词：多晶硅薄膜低温退火
- 等离激元在薄膜太阳能电池中的研究进展被引量：1
- 2011年
- 为了更高效地把光能转化为电能,研究人员尝试着在薄膜太阳能电池设计中引入金属纳米粒子的等离激元结构。通过等离激元对光的引导和限制,在降低电池的吸收层的物理厚度的同时能够保持薄膜电池较强的光吸收特性,在制备便宜高效的薄膜电池领域具有重大应用潜力。本文调研了等离激元在太阳能电池领域应用的最新进展情况,阐述了等离激元作用薄膜太阳能电池的机理,并对未来基于等离激元的太阳能电池设计进行了展望。
- 刘玉梅王新占戴万雷路万兵郭少刚于威李晓苇
- 关键词：太阳能电池等离激元
