国家自然科学基金(60878024)
- 作品数：6 被引量：7H指数：1
- 相关作者：李劲松马铁英冯科李铁陈国凯更多>>
- 相关机构：中国计量学院中国科学院杭州电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省科技厅资助项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程生物学电子电信更多>>
- 隔热结构中非晶硅的释H_2机理与工艺研究被引量：1
- 2010年
- 对采用等离子增强化学气相淀积法(PECVD)制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行了退火释H2实验,并对三文治结构膜层生长工艺作了改进。红外透射光谱表明:提高退火温度及增加退火时间会造成Si-H键断裂释放H2影响器件结构完整;不断改进设计,最终采用精简有效热敏面积及将退火工艺提前以扩张释H2渠道的方案,获得600℃退火后仍保持完整三文治结构的优化设计流程。
- 马铁英李铁李劲松
- 关键词：退火
- 带有相位拓朴数的环形相位板调控高斯光束的梯度力
- 2009年
- 用基于德拜近似条件的矢量衍射理论研究了带有相位拓朴数的环形相位板调控高斯光束的光梯度力分布,改变相位板环形区的相对半径或当相位板的相位以一定拓扑数呈现拓扑变化时,可以调节光学系统焦点区域的光梯度力分布,形成各种非常有规则的几何形状的光陷阱,如当拓朴数分别取3,4,5,6时,可形成三角形、四边形、五边形和六边形光陷阱。此种相位板可用来构建可调的光镊系统,且通过调节相位板的各区域半径和拓扑数可以得到所希望的光陷阱。
- 李劲松高秀敏张淑琴
- 关键词：相位板高斯光束矢量衍射理论
- 〈100〉正面开口快速湿法腐蚀释放悬浮结构的研究
- 2012年
- 设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系。在水浴温度80°C条件下,120min后,〈100〉开口膜系由50%KOH溶液各向异性腐蚀快速释放成形,获得完整无粘连的悬浮结构。在〈100〉快速腐蚀释放原理基础上,制备了基于〈100〉开口的测辐射热计与红外热电堆悬浮单元结构。
- 马铁英李劲松梁培
- 关键词：各向异性
- 高斯光束非球面镜整形系统的设计被引量：6
- 2013年
- 首先介绍了高斯光束平顶整形的应用价值及一些主要整形方法,由于非球面镜整形的优点,本文研究非球面镜整形法。选择费米-狄拉克函数作为平顶光束模型,并分析了其平顶分布与特性参数之间的关系。理论分析了非球面镜整形原理,根据能量守恒定律和光线追迹函数推导出非球面面形表达式。考虑到加工因素,分析了影响非球面度的系统参数,根据分析,选择适当的参数,用MATLAB软件对映射关系和面形曲线进行数值求解并拟合得到非球面系数。用ZEMAX光学软件对整形系统进行建模,通过物理光学传播POP仿真可以得到输出光束的光强分布和传输特性,结果输出光束的平顶质量接近理论上的预期效果,其误差主要来自数值计算精度和孔径边缘衍射。
- 冯科李劲松
- 关键词：高斯光束非球面镜光线追迹
- 成像系统焦深延拓的方法研究进展
- 2010年
- 大的焦深在光学显微镜,生物和医学成像,微电子学,红外光学系统,虹膜识别等高端成像系统以及摄像头等低端成像系统均能发挥重要的作用。因此人们一直致力于研究如何能拓展焦深并据此提出了许多方法。本文将介绍几种比较成熟的焦深延拓方法。
- 陈国凯李劲松卢经纬
- 关键词：点扩散函数调制传递函数
- 遗传算法应用于干涉滤光片的设计
- 2010年
- 为了设计参量更加优良的干涉滤光片,在光子晶体基础上,利用遗传算法设计了窄带滤光片、宽带阻滤光片宽带通滤光片。进行了总结并对需待完善的地方进行了说明。所设计干涉滤光片可以根据给定材料的折射率,计算出此滤光片的最优化透射率。结果表明,如果评价函数对膜系结构的微小变化敏感,用遗传算法对膜系的优化能获得好的结果和较高的效率。
- 方溁李劲松
- 关键词：遗传算法光子晶体
