您的位置： 专家智库 > >

无损检测技术教育部重点实验室开放基金(ZD200929002)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：刘佳王星星龚勇清江茂清邹文栋更多>>
相关机构：南昌航空大学更多>>
发文基金：无损检测技术教育部重点实验室开放基金江西省科技支撑计划项目江西省自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇三维形貌
  • 1篇芯模
  • 1篇加工误差分析
  • 1篇表面形貌

机构

  • 1篇南昌航空大学

作者

  • 1篇邹文栋
  • 1篇江茂清
  • 1篇龚勇清
  • 1篇王星星
  • 1篇刘佳

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析被引量：1
2013年
采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差。通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息。实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义。
邹文栋刘佳王星星江茂清龚勇清
关键词：芯模三维形貌
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0