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博士科研启动基金(010180921)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：霍庆松韩利新张宁玉宋红莲更多>>
相关机构：山东建筑大学更多>>
发文基金：住房和城乡建设部科学技术计划项目博士科研启动基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇形貌
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇YB
  • 1篇ER
  • 1篇掺杂
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇山东建筑大学

作者

  • 1篇宋红莲
  • 1篇张宁玉
  • 1篇韩利新
  • 1篇霍庆松

传媒

  • 1篇山东建筑大学...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Er/Yb/Al掺杂ZnO薄膜的结构与形貌研究被引量：4
2011年
采用射频磁控溅射技术在室温下Si衬底上制备了ZnO薄膜和Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜。通过对XRD的结构分析表明:未掺杂ZnO薄膜沿c取向性生长,掺杂ZnO薄膜偏离了正常生长,变为(102)取向性生长的纳米多晶结构;Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜的晶粒尺寸随着Er元素含量的增多而减小。经AFM对其形貌分析表明:Er3+、Yb3+、Al3+的掺入引起了ZnO薄膜晶格场变化,使薄膜表面粗糙度变大。
韩利新张宁玉霍庆松宋红莲
关键词：射频磁控溅射ZNO薄膜掺杂形貌
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