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国家自然科学基金(60578036): 作品数：14 被引量：81H指数：5; 相关作者：梁静秋梁中翥侯凤杰李伟钟砚超更多>>; 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院暨南大学更多>>; 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>; 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

新型空间调制微型傅里叶变换光谱仪的设计与仿真被引量：14: 2009年; 傅里叶变换光谱仪(FTS)在光谱分析中的应用越来越广泛,并且其微型化的趋势也愈加明显。文章设计了一种新型空间调制微型傅里叶变换光谱仪。在介绍其结构理论的基础上,对其空间的光强分布进行了模拟,通过对该结构下引起相位误差因素的详细分析,采用改进的Mertz相位校正方法对小双边的采样数据进行了光谱复原,其理论分辨率可达到3.43nm@800nm,信噪比的理想分辨极限为6.8dB。该结构的微型FTS可以用微机械加工的方法来实现,具有性能稳定,误差容易校正等优点,文章对空间调制微型傅里叶变换光谱仪的结构设计及仿真,为微型FTS的微机械加工实验提供了理论支持,还为微型傅里叶变换光谱仪的进一步应用提供了更广阔的空间。; 孔延梅梁静秋王波梁中翥徐大伟张军; 关键词：傅里叶变换光谱仪微型化空间调制相位校正

全光网络中的波长选择器件被引量：2: 2010年; 随着光通信技术的发展,特别是光波分复用(WDM)技术的广泛应用,光交叉连接技术(OXC)和光分插复用技术(OADM)受到了越来越多的关注。波长选择器件因具有对不同波长自由选取的功能而在以上两种技术中起到了十分重要的作用。本文介绍了目前研究的几种典型的波长选择器件,对它们的特点进行了分析和比较。; 梁静秋; 关键词：全光网络光开关 MEMS

聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计被引量：1: 2006年; 利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm.; 孔庆峰梁静秋钟砚超侯凤杰李佳孙德贵; 关键词：光开关电磁驱动悬臂梁聚酰亚胺

Free-space 1×2 wavelength-selective switches for wavelength-division multiplexing optical networks被引量：1: 2009年; A free-space 1 ×2 wavelength-selective switch （WSS） based on thin-film filter technology is proposed. The 1 × 2 WSS is fabricated with an electromagnetic actuator, a reflecton prism, a narrow-band thin-film filter, and three fiber collimators. The working principle and the configuration of WSS are illuminated. The experimental results indicate a fiber-to-fiber insertion loss ranging from 1.109 to 1.249 dB with 2-V voltage input, which satisfies the application of optical fiber communication.; 李小奇梁静秋孙德贵李伟梁中翥

柔性悬臂电磁驱动光开关的仿真与制作被引量：1: 2010年; 设计并制作了一种用于波长信道选择系统的新型柔性悬臂梁电磁驱动光开关,该光开关采用微光机电系统技术制作,由带有平面螺旋形线圈的聚酰亚胺悬臂梁、圆柱形永磁体、基座以及双面反射棱镜组成.通过改变线圈中激励电流的方向来控制开关动作.运用有限元的方法,模拟分析了线圈与永磁体之间电磁力的分布以及悬臂梁回复力、电磁力与挠度的关系.对该光开关的驱动性能进行了测试,实验结果表明:加载较小的工作电流(0.15A),悬臂梁便可以产生较大的挠度(0.925mm),满足波长信道选择系统光路偏转的要求.; 徐大伟梁中翥梁静秋李伟李伟李小奇孙智丹; 关键词：微光机电系统光开关电磁驱动

采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制被引量：21: 2007年; 阐述了一维光纤阵列的研制方法，分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理，计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系，给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽，比较了紫外及红外粘接剂的性能，进行了光纤的排列、粘接及抛光，制作出一维光纤阵列。用原子力显微镜测量光纤阵列表面粗糙度为纳米量级，用ZYGO数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为3～5μm。该项工作为二维光纤阵列的高精度制备奠定了基础。; 梁静秋侯凤杰; 关键词：光纤阵列各向异性腐蚀

聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验被引量：4: 2007年; 设计制作了一种电磁驱动式悬臂梁.为降低驱动电流,选择柔韧性较好的聚酰亚胺(PI)作为梁结构材料,其优良的绝缘性和耐热性保证了驱动线圈的功能实现.通过理论计算及有限元模拟仿真对悬臂梁动力响应及结构模态做了系统分析;根据分析结果,优化得到悬臂梁的结构参数.介绍了悬臂梁的制作工艺及流程,通过PI刻蚀、AZ4903光刻胶光刻、电铸等工艺过程,制作出PI悬臂梁及其末端驱动线圈.; 钟砚超梁静秋李小奇李伟王淑荣梁中翥孙德贵; 关键词：悬臂梁有限元分析光刻

高精度长线列密排光纤阵列的制作研究被引量：7: 2007年; 本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324 nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。; 侯凤杰梁静秋郭鹏孔庆峰李佳; 关键词：误差分析粘接剂

MOEMS集成波长选择开关的设计及研究被引量：3: 2017年; 研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得出螺旋形线圈在相同电流密度下相比于八边形和四边形线圈能得到更大的电磁力;通过模态分析得到在设计的悬臂结构下,支撑臂响应时间约为22 ms。采用溅射、光刻、腐蚀和电铸等MOEMS工艺完成了光开关悬臂的制作,并通过制作对准标记及采用可见光与红外光相结合的装调方法,完成了1×8阵列的波长选择开关系统集成。经过测试得到,开关上升和下降的时间均约为20 ms,当电流为0.4 A时,支撑臂的挠度为1.28 mm,能达到系统光路转换的目的。该波长选择开关能够在2 V电压下,实现对8个不同波长信道的任意选择,其最大的插入损耗为1.741 dB,信道均匀性达到0.55 dB;插入损耗的测试结果与计算结果较吻合。; 时建梁静秋陈成吕金光秦余欣高丹; 关键词：波分复用波长选择开关光通信电磁驱动

一种微型光开关的设计与仿真分析被引量：9: 2008年; 介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系。当输入电流为75mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02mm,能够满足器件转换光路的要求。; 李伟梁静秋李小奇钟砚超梁中翥孙德贵; 关键词：微机电系统光开关有限元分析电磁驱动

国家自然科学基金(60578036)

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