国家自然科学基金(60178021)
- 作品数：12 被引量：77H指数：6
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- 相关机构：同济大学中国科学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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- 相关领域：理学机械工程一般工业技术轻工技术与工程更多>>
- X射线超反射镜的设计与制备
- 介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad...
- 王风丽张众吴文娟王利王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：粗糙度磁控溅射
- 文献传递
- 基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究被引量：7
- 2006年
- 应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通用的全局优化算法。结合光学多层膜的设计原理提出了利用模拟退火算法来进行宽角度X射线超反射镜设计的新方法。结合已有的方法选择了W和C作为膜层的膜对材料，设计出Cu的Kα线处角度范围0．9°～1．1°反射率达到20%的宽角度X射线超反射镜。并在此基础上采用改进的自适应模拟退火算法实现了Cu的Kα线处宽角度X射线超反射镜的理想设计结果。设计结果表明了模拟退火算法在多层膜最优化设计领域的正确性和有效性。
- 程鑫彬王占山张众王风丽王洪昌陈玲燕
- 关键词：薄膜光学模拟退火算法
- X射线超反射镜的设计与制备被引量：6
- 2004年
- 介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad时,对波长范围在0.0475nm～0.0886nm范围内的X射线计算反射率达21%宽波段X射线超反射镜。样品采用高精度磁控溅射方法制备,并用X射线衍射仪(XRD)测得在8.7mrad～15.7mrad内反射率为15%左右。
- 王风丽张众吴文娟王利王占山秦树基陈玲燕
- 关键词：粗糙度磁控溅射
- 软X射线偏振光学元件的设计与制备被引量：4
- 2004年
- 叙述了软X射线波段反射式多层膜起偏器和检偏器的设计原则和设计方法,优化计算了5.9nm波长处多层膜光学元件的偏振性能,阐述了其制备的过程,利用小角度衍射法对多层膜的厚度进行了测量,并对同步辐射测量的反射率结果进行了拟合分析。
- 王洪昌王占山吴文娟王风丽张众秦树基陈玲燕
- 关键词：软X射线偏振光学元件多层膜
- 软X射线偏振光学元件的设计与制备
- 叙述了软X射线波段反射式多层膜起偏器和检偏器的设计原则和设计方法,优化计算了5.9nm波长处多层膜光学元件的偏振性能,阐述了其制备的过程,利用小角度衍射法对多层膜的厚度进行了测量,并对同步辐射测量的反射率结果进行了拟合分...
- 王洪昌王占山吴文娟王风丽张众秦树基陈玲燕
- 关键词：软X射线偏振多层膜
- 文献传递
- 软X射线激光用分束镜研制被引量：6
- 2003年
- 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6％。
- 王占山吴永刚唐伟星秦树基陈玲燕徐向东洪义麟付绍军朱杰崔明启
- 关键词：软X射线激光多层膜等离子体
- 软X射线Mo/Si多层膜反射率拟合分析被引量：14
- 2003年
- 由于多层膜的表界面粗糙度和材料之间的相互扩散等因素 ,导致多层膜的实际反射率小于理论计算的反射率 ,因此 ,多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义。由于描述单个非理想粗糙界面散射的Stearns法适用于软X射线短波段区域 ,采用它的数学模型来描述软X射线多层膜的粗糙度 ,利用最小二乘法曲线拟合法对同步辐射测得的Mo/Si多层膜的反射率曲线进行拟合 ,得到了非常好的拟合结果 ,从而确定了多层膜结构参量 ,同时分析了多层膜周期厚度 ,厚度比率 ,界面宽度以及仪器光谱分辨率对多层膜反射特性的影响 ,这些工作都为镀膜工艺改进提供了一定的理论依据。
- 王洪昌王占山秦树基李佛生陈玲燕朱杰崔明启
- 关键词：薄膜光学软X射线光谱分辨率
- X射线超反射镜设计被引量：8
- 2003年
- 阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法 ,它是基于经验理论公式的解析设计方法和基于计算机的数值优化设计方法相结合的产物。利用前者提供比较好的初始膜系 ,再利用后者对该初始膜系进行优化处理 ,从而获得比较好的设计结果 ,并大大减少了计算时间。讨论了实际制作出的多层膜存在的表面粗糙度及膜层材料间的相互扩散对多层膜反射性能的影响 ,并给出了模拟计算的结果。依据上述方法 ,在比较大的掠入射角情况下 ,设计出了具有较宽反射带宽的W /CX射线超反射镜。
- 张众王占山王风丽秦树基陈玲燕
- 极紫外和软X射线多层膜光学被引量：5
- 2002年
- 综述了极紫外和软X射线多层膜光学及其应用 ,指出了极紫外和软X射线光学的优点和难点 .在软X射线激光诊断高温高密度等离子体的干涉实验中 ,迫切需要既有一定反射率、又有一定透过率 ,同时具有很高面形精度的半反半透多层膜和高反射率多层膜组成的软X射线激光干涉仪 ,以实现对高温等离子体临界面附近电子密度的诊断 .在分析软X射线多层膜偏振特性基础上 ,设计了类镍银软X射线激光干涉仪用半反半透多层膜 ,并用离子束溅射方法制备了这样的元件 。
- 王占山吴永刚陈玲燕
- 关键词：极紫外软X射线多层膜光学反射率透过率
- 多层膜优化设计方法被引量：11
- 2005年
- 传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系。根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层膜膜系结构。计算了不同波长软X射线周期性多层膜的最高理论反射率。单纯形调优算法在保证优化结果与随机搜索法优化结果近似相同的基础上,使优化计算速度提高了十倍以上。同时还用单纯形调优法优化设计了X射线超反射镜,得到了非常理想的非周期膜系。
- 王洪昌王占山
- 关键词：软X射线X射线多层膜反射率单纯形法
