中央高校基本科研业务费专项资金(2011YYL006)
- 作品数：4 被引量：6H指数：1
- 相关作者：郝会颖邢杰李伟民李伟民樊振军更多>>
- 相关机构：中国地质大学（北京）中国科学院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- Ti靶及TiO_2靶溅射TiO_2薄膜微观形貌、结构及光学性质研究被引量：1
- 2012年
- 利用射频磁控溅射技术通过Ti靶及TiO2靶在氩氧气氛中同时溅射制备TiO2薄膜,并对所得的样品进行不同温度的退火处理。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、拉曼光谱和吸收谱研究了不同的靶材及退火温度对TiO2薄膜晶体结构、微观形貌及光学性质的影响。结果表明:由于靶材的不同,Ti靶溅射时氧分压较低,造成薄膜中存在大量的氧缺陷,晶相发育不完善,颗粒相比TiO2靶溅射时较小,从XRD和拉曼光谱来看,Ti靶溅射得到的TiO2薄膜更有利于金红石相的形成。薄膜的透过率随退火温度的升高而降低,TiO2靶材溅射的薄膜的光学带隙随温度升高而明显降低,而Ti靶得到的薄膜的光学带隙对退火温度的依赖关系不明显。
- 张笑妍邢杰巩毛毛卫会云郝会颖
- 关键词：TIO2薄膜锐钛矿金红石
- 用于太阳电池的表面等离激元陷光技术的研究进展被引量：3
- 2011年
- 表面等离激元(SPPs)作为一种新颖的陷光技术成为目前光伏领域的研究热点。本文介绍了近几年国内外SPPs陷光技术的研究进展,并分析了存在的问题。
- 郝会颖樊振军邢杰李伟民
- 关键词：表面等离激元太阳能电池
- 室温下高速沉积AZO薄膜的研究被引量：1
- 2011年
- 在室温下,采用射频磁控溅射技术以较大的功率密度(7W/cm2)沉积了一系列掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,探索了溅射压强对沉积速率及薄膜性能的影响。结果表明,当工作压强为2.0Pa时,高速(67nm/min)沉积得到的薄膜的电阻率为2.63×10-3Ω.cm,可见光平均透过率为83%,并且在薄膜表面有一定的织构。
- 李伟民郝会颖
- 关键词：室温压强AZO磁控溅射
- 沉积气压对相变域硅薄膜性能的影响被引量：1
- 2011年
- 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)法,成功制备出一系列从非晶到微晶过渡区域的硅薄膜。研究了气体压强对样品的微结构、光电特性、输运性质以及沉积速率的调控作用。结果表明,增大沉积气压可以提高材料的光敏性及沉积速率,但材料的结构有序度以及输运特性变差。
- 郝会颖李伟民曾湘波孔光临廖显伯
- 关键词：微结构光电特性输运特性
