江苏省高校自然科学研究项目(06KJB460119)
- 作品数：5 被引量：19H指数：3
- 相关作者：周海陈西府王兵王黛萍葛友华更多>>
- 相关机构：盐城工学院苏州大学更多>>
- 发文基金：江苏省高校自然科学研究项目江苏省科技厅科技攻关项目江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 铰链四杆机构驱动的单面抛光运动仿真被引量：1
- 2007年
- 分析了在四杆机构驱动下的单面抛光机的抛光原理,建立了被抛光晶片在平稳运动状态下的数学模型,采用计算机语言对该教学模型进行运动仿真,并通过对比不同参数下的仿真结果,得出最优化的抛光参数。
- 徐安民苏桂生葛友华周海
- 关键词：铰链四杆机构仿真数学模型
- 抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究被引量：6
- 2009年
- 在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙;用聚氨酯类抛光垫能够使得蓝宝石衬底的抛光面小于0.3nm的表面粗糙度。
- 周海王黛萍王兵陈西府冶远祥
- 关键词：蓝宝石化学机械抛光抛光垫
- 化学机械抛光工艺中的抛光垫被引量：5
- 2008年
- 抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响:硬的抛光垫可提高晶片的平面度;软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度;表面开槽和表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙。
- 周海王黛萍王兵陈西府冶远祥
- 关键词：化学机械抛光抛光垫表面粗糙度
- 双面抛光加工运动过程分析及运动仿真被引量：3
- 2007年
- 分析了双面抛光机的加工过程,建立了抛光晶片在双面抛光机平稳运动状态下运动的数学模型,采用计算机对双面抛光加工进行运动仿真,并通过改变不同的参数值,得出抛光过程中不同参数对抛光效果的影响。通过比较,获得最合理的抛光运动参数,从而得到最好的抛光效果。
- 徐安民苏桂生葛友华周海
- 关键词：数学模型仿真
- 蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析被引量：5
- 2008年
- 本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言对双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证。
- 王兵顾建峰何辉辉汤云霞周海陈西府冶远祥
- 关键词：蓝宝石化学机械抛光计算机仿真
