山西省青年科技研究基金(991020)
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
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- 相关机构：太原理工大学西安交通大学更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究
- 2002年
- 介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法———网状阴极法。其设备简单、价格低廉。实验中发现 ,在工艺参数调配合适的条件下 ,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜。薄膜较致密且均匀 ,与基体结合良好。分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力。
- 窦瑞芬田林海潘俊德陈飞赵晋香
- 关键词：空心阴极效应
- 网状阴极溅射法在钛合金表面渗镀Ta的耐蚀性研究被引量：1
- 2002年
- 研究设计了一种网状阴极溅射靶 ,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成。结构简单 ,溅射率高。将其用于双层辉光离子渗钽中 ,在钛合金TC4(Ti 6Al 4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织 ,进一步提高了钛合金的耐蚀性 。
- 陈飞潘俊德窦瑞芬张跃飞唐宾徐重
- 关键词：钛合金耐蚀性表面处理
- 网状阴极法在碳钢表面沉积钽薄膜被引量：1
- 2001年
- 介绍了一种新型的在钢铁基体上制备钽薄膜的方法。该方法用网状钽片作阴极 ,它既是放电气体的离解源 ,又是沉积钽膜的钽离子供给源 ,其设备简单、价格低廉。实验中发现 ,在各个参数配比合适的条件下 ,可制备出结构为bcc(体心立方 )和tetragonal(四方晶系 )的钽薄膜。薄膜较致密且均匀 ,与基体的结合好。同时分析了在最佳工艺参数条件下合成钽膜的组织结构、表面和断口形貌、结合力等。
- 窦瑞芬田林海潘俊德贺琦
- 关键词：空心阴极效应
- 用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜被引量：1
- 2002年
- 介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法———网状阴极法。其设备简单、价格低廉。实验中发现 ,在各个参数配比合适的条件下 ,可制备出结构为fcc(面心立方 )和hex(密排六方 )的氮化钽薄膜。薄膜较致密且均匀 ,与基体的结合好。同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等。该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径。
- 窦瑞芬田林海潘俊德陈飞赵晋香
- 关键词：碳钢空心阴极效应
