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江西省自然科学基金(052016)
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
相关作者:
叶志清
吴木生
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相关机构:
江西师范大学
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ZNO薄膜
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江西师范大学
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吴木生
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叶志清
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江西科学
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1篇
2008
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ZnO薄膜的物理性质与制备方法研究
被引量:6
2008年
ZnO为Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,是一种极具潜力的新型功能材料。给出了ZnO薄膜的主要物理性能,并对制备方法作了比较详尽的介绍,包括激光脉冲沉积法、磁控溅射法、金属有机物化学气相沉积法、溶胶凝胶法、喷雾热解法、分子束外延法、原子层外延生长法。
欧阳桂仓
叶志清
吴木生
关键词:
ZNO薄膜
物理性质
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