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国家自然科学基金(10972058)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：秦琦陈国荣田振夫周凯莫晓亮更多>>
相关机构：复旦大学更多>>
发文基金：上海市教育委员会创新基金上海市科学技术发展基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇有限体积
  • 1篇有限体积法
  • 1篇数值模拟
  • 1篇GAN
  • 1篇MOCVD系...
  • 1篇值模拟

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇莫晓亮
  • 1篇周凯
  • 1篇田振夫
  • 1篇陈国荣
  • 1篇秦琦

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于有限体积法的MOCVD系统反应室的设计被引量：7
2012年
金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备GaN等半导体薄膜材料和激光器、LED等光电子器件的主要手段,制备出的材料和器件的品质直接依赖于MOCVD系统。本文基于有限体积法,利用商业软件Fluent对自行设计的一种MOCVD反应室内的温度分布和流场进行数值模拟。希望通过对模拟流场品质的细致分析,对MOCVD反应室的设计和优化起到指导与参考作用。
秦琦周凯莫晓亮田振夫陈国荣
关键词：GAN数值模拟有限体积法
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