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HClO4掺杂PANI／PdPc复合膜及其气体传感器研究被引量：1: 2008年; 本文阐述了用化学合成法合成HClO4掺杂聚苯胺(PANI)和酞菁钯(PdPc),以松油醇为溶剂,将它们以不同比例相互杂化混合,再以微加工技术和溅射镀膜技术制作了平面微电极陶瓷基片,用涂膜工艺制作了7种不同混合比例的有机复合膜元件(PANI)x(PdPc)1-x.用静态配气法在气体浓度为0.01%时,对多种毒性气体逐一进行气敏特性测试.结果表明,PdPc对NO2呈N型半导体,灵敏度为0.06倍;HClO4掺杂PANI对SO2呈N型半导体,灵敏度为0.0023倍;x=1/6时,敏感膜对SO2、NO、Cl2也呈N型半导体,灵敏度分别为0.02倍,0.09倍,0.046倍.可通过选择不同的配比实现传感器的气敏选择性.; 安宏亮施云波; 关键词：复合膜气体传感器

基于MEMS叠层微结构的SO2毒气传感器被引量：7: 2008年; 利用多孔上电极叠层微结构，以真空镀膜技术形成气敏膜，采用MEMS微加工技术研制了气体传感器。依据等效电路和工艺边界条件，通过电导公式推导出传感器的输出电导提高了10^3倍，解决了有机半导体的信号采集问题。通过SEM微观形貌，确认蒸发电流100～120A、蒸发时间8～12s为电极成膜最佳条件；气敏膜表面呈现二次化学反应融合的200nm左右“米粒状”活性颗粒状态，均匀一致，孔隙有序。测试结果表明：比例系数为0．15～0．35的硫酸掺杂CuPcxPANI1-x对SO2有最佳的灵敏度；考虑到减少H2S气体干扰，选择CuPc0.35PANI0.65为气敏材料，在加热电压VH为1～2．5V时提高了传感器的灵敏度特性和响应恢复特性，响应时间为30s；传感器输出特性为单对数线性关系，检测范围为0～200×10^-6；经6个月的稳定性考核，其输出阻抗漂移≤±5％，灵敏度漂移≤10％。; 施云芬施云波刘月华冯侨华赵文杰雷廷平; 关键词：MEMS微结构气体传感器

酞菁钯-聚苯胺修饰声表面波传感器及含磷毒气的检测被引量：4: 2008年; 针对含磷毒气快速检测问题，以自制的杂化酞菁钯-聚苯胺为敏感膜材料，设计了一种双信道声表面波（SAW）传感器。阐述了传感器的基本原理，推导出以有机膜作为信道中间介质时，差频输出△f由物理化学吸附两种机制叠加的数学模型．依据声波振荡条件，设计了146±5MHz振荡频率的信号采集电路；以钽酸锂晶体为压电基片，通过MEMS微加工技术形成叉指电极对和加热膜；以真空镀膜工艺将敏感膜材料成膜，修饰在SAW信道中间区域构成SAW传感器．测试结果表明：最优气敏性时的材料配比为PdPc0.35PANI0.65；芯片加热60～80℃可提高性能，响应时间≤30s；输出与测试气体浓度与数学模型一致，为线性变化率-110kHz（mg／m^3）的N型线性关系；抗汽油、CO2等气体干扰；80天稳定性考核，△f≤±0．1kHz，满足实际使用要求．; 施云芬施云波孙墨杰冯侨华; 关键词：SAW传感器

改性粉煤灰陶粒的制备及其吸附SO_2性能研究被引量：9: 2012年; 以改性粉煤灰为主要原料,掺杂膨润土、石灰石及水泥,经造粒、烘干、焙烧等工艺制得陶粒。利用扫描电镜(SEM)、比表面和孔径分布测定仪等方法对其表征。考察了陶粒对SO2的吸附性能。结果表明:质量比为改性粉煤灰∶膨润土∶石灰石∶水泥=10∶1∶1∶0.4,在500℃下烧制10 min得到3～4 mm的陶粒,陶粒比表面积为32.8 m2·g-1,陶粒表面粗糙,内部多孔。该陶粒对SO2最大吸附容量为30.939.5 mg·g-1。; 施云芬魏冬雪; 关键词：改性粉煤灰膨润土陶粒

气体传感器长期稳定性智能检测系统被引量：12: 2010年; 设计了一种基于ARM的气体传感器长期稳定性智能检测系统,该系统以LM3S1138作为控制和处理核心。系统共有10片测试板,每片测试板可放置8个气体传感器,最多可一次测试80只气体传感器。可实现对供电电压在0～10V、基值电阻在0～300kΩ的半导体气体传感器进行检测,最多可同时测量80只气体传感器,可同时检测不同类型的气体传感器;采集环境温湿度值;对检测值可在LCD上显示同时将数据存储到SD卡。本系统具有适应性强、使用灵活、稳定性好、可靠性高和精度高的特点。; 沙春哲施云波修德斌赵文杰胡敏于明岩刘甜甜; 关键词：ARM 气体传感器智能检测 SD卡

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国家高技术研究发展计划(2006AA040101-05)