国家自然科学基金(69971019)
- 作品数：9 被引量：7H指数：2
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- 用于投射式电子束曝光系统的磁浸没透镜的优化设计
- 2001年
- 以磁浸没透镜的电流密度值的大小为优化参量 ,以成像系统的轴上像散为目标函数 ,利用单纯形优化法对用于投射式电子束曝光系统的新型磁浸没透镜进行了优化设计。结果表明 ,目标函数由未经优化前的 35 8.187nm降低到 5 0 .6 93nm。同时单纯形优化法不需要已知目标函数与优化参量之间的解析关系式及求导 。
- 程敏唐天同姚振华郭德政
- 关键词：单纯形法最优化设计电子光学系统
- 磁浸没透镜的宽束曲轴像差理论被引量：2
- 2001年
- 本文采用宽束曲轴电子光学理论 ,研究了磁浸没透镜的电子光学特性 ,得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程 ,并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数 .针对轴上磁场分布具有解析表达式的磁浸没透镜 ,文中还计算了它的曲轴二级像差 ,并给出了其孔径像差的弥散图形情况 。
- 程敏唐天同
- 关键词：曲轴电子光学像差
- 磁浸没透镜的宽束曲轴像差分析的微分代数方法研究
- 2002年
- 微分代数是计算机数值分析领域中的一个非常有效的方法 ,可以实现任意高阶微分的准确计算 .本文根据微分代数方法的基本原理 ,将其引入到磁浸没透镜的宽束曲轴像差的分析计算中 ,得到了任意阶曲轴像差的微分代数表达式 .文中针对轴上磁场具有某种解析表达式的一个实际的磁浸没透镜系统 ,利用微分代数的曲轴像差分析方法 ,计算了它的曲轴像差 ,并给出了全部二阶和三阶几何像差的分布图形 .
- 程敏唐天同姚振华王振华
- 关键词：微分代数电子光学电子轨迹
- 扇形均匀磁场分析器的飞行时间的理论研究
- 2002年
- 采用逐次近似的方法 ,在平面曲轴系统中 ,对于扇形均匀磁场分析器的飞行时间特性进行了直到二阶的理论研究 ,推导出了扇形磁场分析器中电子轨迹精确到二阶的理论表达式 ,得到了飞行时间特性的一阶和二阶传递系数 。
- 程敏唐天同姚振华
- 关键词：飞行时间电子轨迹二阶效应
- 微分代数在高阶复合几何像差-色像差分析中的应用被引量：1
- 2001年
- 微分代数是计算机数值计算领域中的一种强有力的新型数学方法 ,它为任意高阶微分的计算提供了一种可达到机器精度的极为简便的手段。本文根据微分代数的基本原理 ,研究了它在高阶复合几何像差 色像差分析计算中的应用 ,得到了系统的任意阶传递性质的微分代数表示 ,并具体给出了一至三阶复合几何像差 色像差所对应的微分代数系数。文中还以一个轴上电位分布具有解析表达式的静电电子透镜为例 ,计算了它的一至三阶复合几何像差 色像差系数 ,并给出了一阶色差分布图形。
- 程敏唐天同姚振华
- 关键词：微分代数带电粒子光学半导体器件
- 微分代数在磁场分析器高阶像差分析中的应用
- 2002年
- 将微分代数引入到磁场分析器任意高阶的像差分析计算中 .对一个实际的均匀扇形磁场分析器中的三阶像差系数的微分代数数值结果和相应的解析解进行了比较 ,相对误差不高于 10 - 14 。
- 程敏唐天同姚振华王振华
- 关键词：微分代数
- 无束腰的磁浸没透镜系统的理论研究和数值模拟被引量：2
- 2000年
- 采用曲轴坐标系统 ,导出了磁浸没透镜的宽束曲光轴理论 ,研究了初始正则角动量矩不为零的无束腰磁透镜系统的电子光学性质 ;数值模拟出了能产生缩倍聚场分布的磁透镜结构 ,并计算了具有解析表达式的缩倍聚场的高斯成像性质 。
- 程敏唐天同
- 关键词：芯片
- 复合静电-磁浸没透镜的宽束曲轴聚焦性质及像差理论被引量：1
- 2002年
- 研究了新型的复合静电 磁浸没透镜的曲光轴高斯电子光学性质及像差特性。应用宽束曲轴理论 ,导出了三维局部正交坐标系中的电子运动的中心轨迹方程和曲光轴的近轴轨迹方程 ;利用数学软件Mathematica推导出了复合静电 磁浸没透镜全部曲轴二级像差系数。作为实例 ,文中针对轴上磁场和电场具有某种解析表达式的旋转对称的静电 磁浸没透镜系数 ,计算了它的曲轴高斯聚焦特性和二级像差 。
- 程敏唐天同姚振华
- 关键词：像差微电子技术带电粒子光学
- 微分代数方法在静电电子透镜任意高阶像差分析中的应用被引量：1
- 2002年
- 微分代数是计算机数值分析领域中的一个非常有效的方法,它以非标准分析理论为基础,可以实现任意高阶微分的准确计算.本文根据微分代数方法的基本原理,将其引入到静电电子透镜的任意阶像差分析的计算中.通过计算例子,可以看出微分代数方法的计算结果非常精确,精度仅受限于机器精度和算法误差.同时结合微分代数方法可以很方便地计算到任意高阶像差的特性,给出了所研究的透镜全部五阶像差的分布图形.
- 程敏唐天同姚振华
- 关键词：高阶像差
