宁波市自然科学基金(2009A610101)
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
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- 气浮系统动力学参数的调节
- 2010年
- 为向使用气浮系统的定位台提供性能更佳和精度更高的超静环境,对气浮系统动力学参数的调节问题进行了研究。研究结果表明:气膜厚度、磁预载力和气浮推力在气浮系统运行时相互影响,在静态调节过程中,选择合适的气膜厚度、气浮推力和磁预载力十分重要,需要综合考虑各种因素;在动态调节方法里,需要考虑不同工作阶段和使用情况下的动力学参数的匹配问题,其中磁预载力选择较大一些,有利于增大气浮系统的稳定性。
- 何学明
- 关键词：气浮系统气膜厚度
- 微纳精度硅片台的有限元分析与实验研究
- 2010年
- 在气浮轴承研究的基础上,将相应的技术应用到某硅片台上。为了评判气浮技术在该硅片台的应用效果,对该平台进行了有限分析和实验研究。研究结果表明:气浮技术在平台的运用是成功的,其产生的前六阶模态,无论在频率和振型上,有限元分析结果和实验研究都非常符合,且在整个实验中,最大的频率误差才3.4%。
- 何学明
- 关键词：气浮系统有限元分析
- 新型混合趋近律控制器的设计被引量：1
- 2010年
- 在分析2种控制不足的基础上,提出了基于指数趋近-变速趋近-饱和切换函数的混合趋近控制律,并进行了对比仿真试验分析和实验研究.结果表明,基于该混合趋近律的控制器具有较好的鲁棒性,在系统进入切换带后能实现较小的抖振,且在系统稳定后系统的状态参数稳定于原点,其动态品质有了很大的改善.
- 何学明
- 关键词：超精密定位仿真与实验研究
