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山东省自然科学基金(2008A21)
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相关作者:
魏显起
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氧压对用PLD法制备的ZnO薄膜的特性影响
2009年
通过脉冲激光沉积方法在不同的氧压中制备ZnO薄膜。用X射线衍射(XRD)谱、原子力显微镜(AFM)及光学透过率谱表征了薄膜的结构和光学特性。XRD谱和AFM显示在生长压力为2Pa时获得了较好的结晶薄膜,随着氧压的提升薄膜表面平整,晶粒均匀。光学透过率谱显示在生长压力为5Pa时有较好的光学特性。
魏显起
张铭杨
满宝元
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PLD
ZNO薄膜
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