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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放课题基金
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
王磊
王植恒
周传宏
赖成军
廖清君
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四川大学
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四川大学学报...
年份
1篇
2001
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消光椭偏仪测量中的四区域法平均
被引量:2
2001年
作者讨论了如何用四区域法平均对椭偏仪测量数据进行处理的问题 ,通过分析认为 ,该法可以消除由起偏器、补偿器、检偏器引起的方位角误差 .并用该法规范椭偏测量角Ψ和Δ ,使Ψ∈(0°,90°)和Δ∈(0°,36 0°) ,实验所得结果与理论计算值符合得很好 .
廖清君
王植恒
王磊
周传宏
赖成军
刘细成
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