国家自然科学基金(60106005)
- 作品数:2 被引量:7H指数:1
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- 相关机构:浙江大学更多>>
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- 相关领域:金属学及工艺更多>>
- 利用光镊系统实现纳米加工的理论和实验研究被引量:6
- 2004年
- 阐述光镊形成的基本原理,利用几何光学和动量守恒定律对激光势阱中约10μm大小的高强度微粒子(如:金刚石、碳化硅、石英等)受力进行分析。同时建立了实验装置,通过操纵微粒子的运动,实现对硅表面的纳米加工,并通过实验比较,定性分析最佳加工条件(如:激光功率和加工基底参数)。
- 王晓娜白剑侯西云杨国光
- 关键词:光镊微粒子
- 基于激光捕捉微粒子实现微细加工的新概念研究被引量:1
- 2002年
- 利用高倍显微物镜所聚合的激光在粒子表面所产生的辐射压可捕捉几个微米大小的高强度粒子,这些被捕捉的粒子在激光驱动下,能移动、转动及振动,可成为微加工工具,在被加工表面上形成微米乃至纳米级的表面微细切削。基于几何光学模型对捕捉进行数字仿真,所设计形状粒子的加工力最大可达到mW/N101.210-。
- 白剑侯西云沈亦兵杨国光
- 关键词:微细加工微粒子