国家高技术研究发展计划(2004AA404210)
- 作品数：7 被引量：39H指数：4
- 相关作者：车录锋王跃林王俊杰吴浩郭建更多>>
- 相关机构：威海双丰电子集团有限公司中国石油化工集团公司中国科学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术天文地球电子电信更多>>
- MEMS差动电容加速度传感器被引量：7
- 2005年
- 介绍了一种 MEMS 差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对 MEMS Sensor 选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了 MEMS 差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等,同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理,不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移,结构合理,达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。
- 唐晓刚颜永安王建民牛德芳
- 关键词：MEMS石油勘探技术指标
- 石油勘探MEMS传感器的研究被引量：8
- 2005年
- 用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备。本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式,并详细地介绍了该产品的主要技术指标。
- 颜永安牛德芳孙正鼐
- 关键词：传感器反射波信号处理系统震源地震波
- 极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响被引量：2
- 2007年
- 根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响,建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型。通过电学模拟,分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响。结果表明,当传感器受阶跃信号的冲击时,可靠工作范围随极板倾斜程度的增大而减小,并且模拟结果还表明,在欠阻尼情况下传感器的可靠工作范围比临界阻尼或过阻尼情况下要小。
- 吴浩车录锋王俊杰王跃林
- 关键词：加速度传感器阻尼阶跃响应
- 石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究被引量：1
- 2007年
- 针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。
- 王俊杰车录锋吴浩王跃林
- 关键词：MEMS加速度传感器检测电路分辨力噪声
- 基于微机电系统的数字检波器及其应用被引量：16
- 2005年
- 介绍了基于微机电系统(MEMS)的数字检波器性能,并将其与模拟检波器进行了对比分析。MEMS数字检波器的振幅和频率响应较为理想,动态范围宽,且体积小,重量轻,采用全数字传送;而模拟检波器由于是采用组合方式来压制环境噪声和相干噪声,因此使得高频信号损失,分辨率下降,且体积大,埋置和收放困难,工效低。通过对常规10 Hz检波器和MEMS数字检波器的振幅响应、相位响应、谐波畸变的对比,讨论了数字检波器的优越性。在中原油田进行了数字检波器(单个)和模拟检波器(12个组合)的野外采集试验,结果表明, MEMS数字检波器采集的记录在浅层有较高的分辨率。最后介绍了国内MEMS数字检波器的研制现状。
- 郭建马国庆宗遐龄赵群黄中玉
- 关键词：相位响应频率响应动态范围
- 石油勘探MEMS加速度传感器在煤田勘探的应用被引量：6
- 2006年
- 介绍了一种石油勘探MEMS加速度传感器,该传感器是一种适应石油、煤田地震勘探设备向小型化、高分辨率、智能化方向发展的一种新产品。对石油勘探MEMS加速度传感器与传统检波器的特点进行了比较分析,介绍了该传感器已达到的技术指标和与国外同类产品的比较情况,同时介绍了数据采集及多传感器融合技术、地震勘探系统接口技术等应用方面的研究,最后介绍了该传感器在煤田勘探的实验情况。
- 唐晓刚颜永安赵冰张栋牛德芳
- 关键词：MEMS技术加速度传感器地震勘探
- 石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化
- 2005年
- 介绍一种新的电容式石油勘探MEMSSensor生产过程中氧化、光刻、刻蚀主要工艺的选择原则和理论依据。
- 牛德芳于国良刘静孙正鼐
- 关键词：MEMSSENSOR光刻刻蚀
