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国防科技重点实验室基金(51433040204DZ2301)
作品数:
1
被引量:2
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相关作者:
赵正平
郭文胜
吕苗
张志国
杨瑞霞
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相关机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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李丽
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杨瑞霞
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张志国
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赵正平
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2006
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一种基于MEMS的射频低相位噪声压控振荡器的研制
被引量:2
2006年
利用微机械可变电容作为频率调节元件,制备了一种中心频率为2GHz的LCVCO.微机械可变电容的控制极板与电容极板分离,并采用表面微机械工艺制造,在2GHz时的Q值最高约为38·462.MEMSVCO的测试结果表明,偏离2·007GHz的载波频率100kHz处的单边带相位噪声为-107·5dBc/Hz,输出功率为-13·67dBm.对微机械可变电容引起的机械热噪声以及减小空气压膜阻尼来降低相位噪声的方法进行了讨论,提出了一种优化阻尼孔数目的方法.
李丽
赵正平
张志国
郭文胜
吕苗
杨瑞霞
关键词:
MEMS
可变电容
Q值
压控振荡器
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