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光信专业的实验与理论教学相结合的改革方案被引量：1: 2009年; 阐述了物理类学科光信息科学与技术专业的实验室建设的特点,分析了光信专业实验教学与理论教学衔接程度不足的现状,提出了一种相对可操作性强的、能将实验教学与理论教学相结合的改革方案,倡导以学生为主,开展自主性学习、探究性学习,培养学生的综合素质和创新能力,就以上的几个个方面进行了详细的探讨,并以此为课程改革的方向。; 雷亮陈丽; 关键词：光信息科学与技术教学改革实验教学

部分相干高斯光通过扩束系统的衍射分析: 2009年; 采用高斯谢尔Gaussian-Schell模型(GSM)来描述部分相干的准分子激光束,利用柯林斯(Collins)衍射积分公式和Matlab对部分相干高斯光通过扩束系统的衍射性质进行模拟分析。结果表明,出射激光束随着空间相干参数β的变大,出现亮暗相间环状光束的数目增多,且衍射峰值明显增加。表明空间相干参数对于设计扩束系统及其相关光学系统的重要性。; 梁国均周金运陈宇星刘逸轩林清华; 关键词：部分相干

印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析被引量：4: 2009年; 针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理论分析。由PCFGB分布函数、稳定光强输出的衍射角和菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式,定量分析衍射效应对MLA均束的影响。理论计算表明,微透镜边缘发生菲涅耳衍射和微透镜产生的多光束干涉都能引起光振幅调制,只不过衍射产生的尖峰更明显地出现在光束边缘。同时,由数值积分得到的PCFGB曲线,发现9×9 MLA均束器既能保证多个微透镜产生光束叠加的均匀性,又最大程度地减少了衍射和多光束干涉效应。通过采取加正六边形光阑的方法,不仅能满足大面积无缝扫描光刻的需要,而且能剪裁由衍射引起的光束边缘尖峰。由ZEMAX光学设计软件模拟其效果,显示其加工窗不大于士2%。; 裴文彦周金运梁国均林清华; 关键词：激光技术印刷电路板

基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究: 2008年; 针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要,设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用,结果表明CCD图像的质量明显提高,从而提高了视频图像对准系统的精度,完全满足系统分辨精度2.5μm的要求。; 王鲁宾周金运宋超; 关键词：视频图像共焦显微镜相关双采样

基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计被引量：1: 2009年; 351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描。同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单,无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束,减少了能量损失。通过合理的假设和理论推算,依据管内最大反射次数就能适当地选取光波导管的长度,既保证了足够的反射次数以维持良好的均匀性,同时又避免了不必要的管长所带来的更多反射损耗。利用ZEMAX光学设计软件模拟和分析了由光波导管输出的照明光。结果表明,输出的六角形光束的相对光通量为96%,近似于平顶的能量分布,呈现出了极好的均匀性。; 裴文彦周金运梁国均林清华; 关键词：准分子激光器光刻光学设计

光信专业的实践性教学改革方案被引量：1: 2009年; 阐述了物理类学科光信息科学与技术专业的实验室建设的特点,分析了光信专业实验教学与理论教学衔接程度不足的现状,提出了一种相对可操作性强的、能将实验教学与理论教学相结合的改革方案.以探究式教学为主要特征,用智能多元化理论指导教学,倡导以学生为主,开展自主性、探究性学习,培养学生的综合素质和创新能力,就这几个方面的问题进行了详细的探讨,并以此为课程改革的方向.; 雷亮陈丽; 关键词：光信息科学与技术实验教学

大面积激光投影成像曝光技术: 2009年; 介绍了大面积激光投影成像曝光系统的构成和工作过程,阐述了其中的关键核心技术如激光照明光学技术、折叠投影光学技术、大面积扫描技术和光学自动对准技术,分析了光学系统的参数、配置以及光路设计等存在的问题,对大面积扫描中的无接缝误差和自动对准中的高精度检测定位等技术上的解决办法作了有益的探讨。; 裴文彦周金运林清华; 关键词：准分子激光器

折叠式激光投影光刻物镜的设计研究被引量：7: 2007年; 针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差小于λ/4,畸变小于0.000007%,这些指标符合实际要求。; 李文静周金运林清华; 关键词：投影物镜光学设计

应用于光刻领域中的固态紫外激光源的制作被引量：1: 2012年; 以半导体侧泵钇铝石榴石激光器为泵浦源,采用腔内泵浦两块三硼酸铯晶体,产生满足高功率与高光束质量要求的三倍频355nm紫外激光.通过使用法拉第旋转器谐振腔优化设计与热效应补偿提高输出光的光束质量,并且使用体光栅作为输出镜,在实现线宽窄化同时保持准相位匹配的高效性能.该光刻用紫外激光源成功地替代准分子激光器,使用在一套大面积亚纳米级投影式光刻系统上,工作时紫外光输出功率为4.37W,光束质量因子为2.27.; 雷亮李凡林清华周金运冉坐; 关键词：半导体工业光刻技术紫外激光

投影光刻系统中的掩模硅片相关识别对准技术被引量：2: 2012年; 分析图像相关识别中的纯相位匹配滤波器的模式识别方法,利用该滤波器的相关识别位图计算算法,及其所具有的相干峰尖锐特性与高度旋转敏感特性,分别求取得光刻套刻过程中,掩模板和硅片基板对准标记的相对平移坐标与旋转坐标的精密量化驱动值。将此算法的实施单元建立在一套成型的大面积投影光刻系统中,使得该系统的对位精度与对位效率显著地提高。; 雷亮李浪林周金运王衢; 关键词：激光技术光刻模式识别

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