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青海大学中青年科研基金(2009-QG-03)
作品数:
3
被引量:8
H指数:2
相关作者:
马晓艺
刘畅
马旻
李戬
刘文昌
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相关机构:
青海大学
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发文基金:
青海大学中青年科研基金
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相关领域:
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冷轧织构
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互连线
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集成电路
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机构
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青海大学
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作者
3篇
马晓艺
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陈明彪
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刘文昌
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李戬
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马旻
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刘畅
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杨庆祥
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传媒
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光谱学与光谱...
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1篇
2013
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2012
1篇
2011
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冷轧CC5052铝合金板表层至中心层织构变化的X射线衍射分析
被引量:3
2013年
为了对铝合金板轧制技术发展提供依据,采用X射线衍射仪测试极图并使用专用软件计算织构的ODF,研究了热轧后经过454℃×4h预先再结晶退火处理的5052双履带连续冷却铸造铝合金板,进行不同变形量冷轧后自表层至心部层的织构分布状况。冷轧制后变形量小于40%的试样,存在织构强度由表层向中心层提高的变化梯度。变形量大于56.1%的试样,β织构的增加主要是来自剩余位向转变量随变形量的增加;主要织构β较强、Goss和剩余位向较弱,各层之间的织构状态接近。
陈明彪
刘文昌
马晓艺
李戬
杨庆祥
王珊
马旻
刘畅
Zhao Y M
关键词:
铝合金
织构
冷轧织构
X射线衍射
DC AA 5052铝合金冷轧板沿厚度方向织构变化的X射线衍射分析
被引量:3
2012年
以不同变形量对预先经过热轧和再结晶退火的DC AA 5052直接冷却铸造铝合金板进行冷轧制后,采用X射线衍射和专用软件测试、计算并分析表层、1/4厚度层、中心层的织构极图和ODF图及有关数据,研究板厚度方向轧制织构的变化情况,以为改进轧制工艺、获得板厚度方向的织构织及性能均匀性提供依据。各变形量的试样之表层向1/4层、中心层方向,存在β织构逐渐增强的梯度;变形量逐渐增大到90%的过程中,沿板厚度方向β织构强度的变化梯度逐渐降低、体积分数逐步增大、强度逐渐增大并达到各层基本接近。
陈明彪
刘文昌
李戬
马晓艺
马旻
刘畅
李敬
杜温文
Qi-Sing Man
关键词:
铝合金
织构
DC
AA
5052铝合金
冷轧织构
取向分布函数
超高纯铝合金互连线及其溅射靶材
被引量:2
2011年
近些年来,随着集成电路(IC)技术的进步,围绕集成电路的相关应用得到迅速发展,超高纯铝合金溅射靶材作为集成电路金属互连线制造中的配套材料,由此成为最近国内研究的热点。本文就超高纯铝合金溅射靶材在金属互连线中的应用、性能要求、加工工艺以及发展前景进行了综述。
马晓艺
陈江波
黄光杰
关键词:
集成电路
互连线
溅射
靶材
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