上海市科委国际合作基金(051107085)
- 作品数：12 被引量：80H指数：6
- 相关作者：王向朝杨坤王华曾爱军何国田更多>>
- 相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所上海恒益光学精密机械有限公司中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：上海市科委国际合作基金国家自然科学基金上海市青年科技启明星计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种硅微机械谐振器的单光源激振测振方法被引量：1
- 2006年
- 提出一种用于硅微机械谐振传感器研究的单光源激振测振新方法,即微谐振器的激励及其谐振信号的测量使用同一光源。该方法采用全光纤斐索干涉仪结构,将干涉信号与光源强度变化信号进行运算后,通过选频技术解调出谐振器的振动信息,同时采用贝塞耳函数比值法扩大了振动幅度的测量范围,省去了一些难以获得准确数值的工作参数的计算。采用该方法实现了微悬臂梁结构形式的谐振器件的单光源激振与测振,获得了器件的谐振频率约为8.81kHz以及谐振状态下的振动幅度约为135nm。实验结果与采用其他双光源激振测振方法基本一致,新方法的可行性得到了验证。
- 刘英明王向朝
- 关键词：光学检测
- 物体表面形貌的正弦相位调制实时干涉测量技术研究被引量：7
- 2007年
- 表面形貌干涉测量技术是一种高精度的非接触式测量技术,在工业生产和科学研究中具有广泛的应用。提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉测量新技术。该技术用激光二极管作光源,用自制的高速图像传感器探测干涉信号,通过信号处理电路实时解相得到被测表面所对应的相位分布,实时分析相位获得物体表面形貌。该技术消除了光强和部分外界干扰的影响,提高了系统的测量精度。楔形光学平板表面形貌的测量结果表明,测量点为60×60个的情况下,测量时间小于8.2 ms,重复测量精度(RMS)为4.3 nm。
- 何国田王向朝曾爱军
- 关键词：光学测量表面形貌激光二极管图像传感器
- 正弦相位调制位移干涉测量技术中调制频率的优化选择被引量：3
- 2006年
- 针对正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于位移测量时,调制频率对干涉信号相位解调的影响,提出一种调制频率的优化选择依据.通过对干涉信号的频谱进行分析,发现当被测位移幅度较小时,较小的调制频率即可满足相位解调的要求;而当被测位移较大时,必须相应地增大调制频率,才能获得比较准确的测量结果.模拟计算以及实验结果表明,被测位移信号的幅度每增大四分之一测量光源波长,调制频率需要相应增大4倍于被测信号频率的大小,才能满足正弦相位调制位移干涉测量技术信号处理的需要.
- 刘英明王向朝
- 关键词：正弦相位调制调制频率频谱分析
- 球面镜Michelson干涉仪的优化设计
- 随着调谐激光器在军事上的应用,发展相干识别型激光探测技术具有重要意义。目前主要有基于F-P干涉仪、基于球面镜Michelson干涉仪和基于光纤干涉仪的三种相干识别型激光探测技术。在基于F-P干涉仪的激光探测技术中,由于F...
- 王华曾爱军王向朝
- 文献传递
- 平行平板角位移干涉测量仪的优化设计被引量：4
- 2007年
- 提出一种可提高平行平板角位移干涉测量仪测量精度的优化设计方法。对角位移干涉测量系统进行了误差分析,讨论了影响角位移测量精度的主要因素。分析了在干涉仪光路中入射到平行平板上的初始入射角度、平行平板的折射率以及厚度等参数的选取对角位移测量精度的影响。结果表明,优化选取最佳的初始入射角度以及元件参数,并在于涉光路中附加引入一平面反射镜形成光程差放大系统,可实现的角位移测量精度达10^(-8)rad数量级。
- 郑德锋王向朝
- 关键词：激光技术优化设计误差分析角位移
- 频谱泄漏对正弦相位调制干涉测量精度的影响
- 2007年
- 在正弦相位调制（SPM）干涉仪中，若调制频率或者采样频率发生变化将使干涉信号出现频谱泄漏，减小了谐波分量的幅值，在测量结果中引入了误差。对频谱泄漏的产生及其对测量精度的影响进行了理论分析，获得了频谱泄漏引入测量误差的计算方法。实验测得频率漂移量在-0．3～0．3Hz内，得到的频谱泄漏引入的误差为0．3～7．9nm，当超出这个范围时，频谱泄漏误差将迅速增长。实验结果与模拟分析结果一致。
- 何国田王向朝曾爱军
- 关键词：频谱泄漏离散傅里叶变换
- 大气湍流对斜程传输准单色高斯-谢尔光束时间相干性的影响被引量：11
- 2007年
- 由第一类零阶贝塞尔函数的级数展开推导出波结构函数在任意湍流条件下的近似表达式。由广义惠更斯-菲涅耳原理、随高度变化的Hufnagel-Valley湍流廓线模型以及波结构函数在任意湍流条件下的近似表达式,导出了斜程传输时准单色高斯-谢尔光束互相干函数的解析式。然后,利用表征光束时间相干性的纵向相干长度(可由互相干函数导出),研究了斜程传输时大气湍流对准单色高斯-谢尔光束时间相干性的影响。研究结果表明,准单色高斯-谢尔光束的时间相干性在整个斜程传输过程中保持不变。最后,对该结果在物理上给予了定性解释。
- 王华王向朝曾爱军杨坤
- 关键词：大气光学时间相干性
- 椭偏仪的研究进展被引量：22
- 2007年
- 主要介绍了椭偏仪的测量原理,比较了不同结构的椭偏仪,并根据具体应用需求介绍了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪,分析了椭偏仪的数据处理过程,最后展望了椭偏仪的发展趋势。
- 杨坤王向朝步扬
- 关键词：椭偏仪膜厚折射率
- 一种基于普通CCD的高帧速图像传感技术
- 高帧速CCD图像传感技术是一种测试和研究高速瞬变现象和运动的有效手段,可用在高速瞬态变化事件中过程信息的捕捉和数据采集。由于普通面阵CCD图像传感器的帧速不能满足此测量要求,需要专用或高速面阵CCD图像传感器。目前测量领...
- 何国田王向朝李代林
- 文献传递
- 椭偏仪研究进展
- 随着微电子技术的不断发展,集成电路已被广泛应用于计算机、消费电子、网络通信和工业控制等领域,并发挥着越来越重要的作用。在某种意义上,集成电路是由数层材质和厚度不同的薄膜组成的。精确测定薄膜的厚度和光学常数是集成电路制造工...
- 杨坤王向朝步扬
- 文献传递
