江苏省自然科学基金(BK2003052)
- 作品数：20 被引量：79H指数：5
- 相关作者：秦明黄庆安高冬晖张中平程海洋更多>>
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- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- CMOS风速风向传感器的设计被引量：5
- 2005年
- 介绍了一种CMOS(互补MOS)集成风速风向传感器,使用恒温差(CTD)控制模式将芯片加热,使其中间加热区域的温度高于周围环境(风)温度一定值。该传感器在有风吹过它的表面时能同时测量风速和风向。采用4个串联的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法简单、新颖。在简单阐述CMOS硅热流量传感器的工作原理和结构之后,主要介绍驱动和信号读取电路。经过风洞测试,传感器能够测量风速0～23m/s,具有良好的线性度和灵敏度,同时,传感器360°内方向敏感。
- 程海洋秦明高冬晖
- 关键词：风速风向传感器热损失
- 一种湿度传感器接口电路的分析与改进被引量：5
- 2005年
- 介绍了一种本实验室开发的集成湿度传感器,它实现了湿敏电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现电容值与频率值的转换。对样片进行了测试,电容值与湿度值近似为线性关系;但是,输出波形的占空比与理论值有较大的偏差。通过分析,给出了测试结果发生偏差的原因。最后,对施密特触发器的参数进行优化,重新对电路的结构进行了设计,实现了与实验室第二代湿度传感器的集成。
- 程坤秦明张中平黄庆安
- 关键词：MEMS湿度传感器接口电路
- CMOS Schmitt触发器的设计与模拟被引量：4
- 2005年
- 分析了普遍的六管CMOSSchmitt触发器管子宽长比设计公式,从触发器的工作原理出发指出了其不尽合理之处。根据I.M.Fianosky提出的触发器实际的阈值电平理论,考虑M2和M5两管对阈值电平的影响,提出了新的CMOSSchmitt触发器宽长比设计公式。举例说明了在一定的设计考虑和工艺条件下如何利用这一公式进行设计。
- 程坤秦明张中平黄庆安
- 关键词：阈值电平触发特性
- 硅热流量传感器及其封装被引量：7
- 2004年
- 在介绍硅热流量传感器的工作原理、工艺方法的基础上,重点给出了目前硅热流量传感器特别是风速计的几种常用结构以及相应的封装形式,并对每种结构及其封装形式的优缺点进行了分析。最后对硅热流量传感器封装发展中尚待解决的问题以及未来发展趋势进行了讨论。
- 高冬晖秦明
- 关键词：硅热流量传感器风速计封装
- 采用CTD控制电路的二维CMOS风速计研究
- 介绍了一种二维硅热流量传感器,通过恒温差(CTD)控制模式,能同时测量风速和风向。使用四个串连的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法非常简单新颖。在简单介绍CMOS硅热流量传感器的工作原理之后,主要介绍CTD驱...
- 程海洋秦明高冬晖
- 关键词：风速计CMOSSOC
- 文献传递
- CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器被引量：5
- 2006年
- 设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器，将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上．片上集成的湿度传感器为叉指电容式，感湿介质为聚酰亚胺，本文给出了相应的感湿模型-针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点，本文采用开关电容电路作为片上微电容测量电路，讨论了电路的原理并给出了模拟结果．芯片采用3μm多晶硅栅标准CMOS工艺进行流水．测量结果表明，片上集成湿度传感器在5～35℃有较好的直流输出特性，并且长时间稳定性良好．
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 关键词：开关电容电路聚酰亚胺湿度传感器
- 基于C8051F310的智能便携式气压高度测量系统被引量：4
- 2005年
- 介绍了一种基于SiliconLaboratories公司的C8051F310微控制器的智能便携式测量系统,用于测量大气压力以及海拔高度。文中详细论述了该系统的工作过程及其软硬件设计实现。整个系统集成微控制器与MEMS微传感器于一体,具有结构精简、精度高、灵敏度高、便携式、智能化等特点,在便携式气象仪系统、气象控制系统等诸多领域具有广泛的实际应用前景。
- 孙凯张中平秦明黄庆安
- 关键词：微控制器MEMS海拔高度
- 采用CTD控制电路的二维CMOS风速计研究被引量：1
- 2004年
- 介绍了一种二维硅热流量传感器,通过恒温差(CTD)控制模式,能同时测量风速和风向。使用四个串连的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法非常简单新颖。在简单介绍CMOS硅热流量传感器的工作原理之后,主要介绍CTD驱动电路。经过风洞测试,该传感器能够测量风速0～23m/s,具有良好的线性度,并且360°方向敏感。
- 程海洋秦明高冬晖
- 关键词：风速计CMOSSOC
- 利用ABS实现MEMS后处理中的电路保护被引量：3
- 2005年
- 提出一种以丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)薄膜作为各向异性腐蚀溶液的掩模的薄膜保护方法。ABS胶以旋涂的方法涂布在硅片表面,然后经过一系列的处理工序以增强膜与衬底的粘附性。本文比较了在不同温度条件下ABS胶膜在KOH和TMAH溶液中的抗腐蚀特性。实验证明:在90℃、25wt%TMAH溶液中,ABS薄膜的掩模时间达到10h左右,而且这种薄膜的优点在于很容易用化学试剂加以去除。
- 曹正军秦明
- 关键词：电路保护
- 结构参数对硅热流量传感器热性能的影响
- 基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型。在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论。
- 高冬晖秦明
- 关键词：硅热流量传感器热模拟ANSYS模拟
- 文献传递
