天津市自然科学基金(07JCYBJC18100)
- 作品数：2 被引量：30H指数：1
- 相关作者：房丰洲仇中军椎名刚志江田弘周立波更多>>
- 相关机构：天津大学日本茨城大学更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程金属学及工艺更多>>
- 石英玻璃的化学机械磨削加工被引量：29
- 2010年
- 为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工,进一步改善光掩模设备的性能,进行了石英玻璃化学机械磨削(CMG)加工技术的研究。通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应,并使化学反应与机械去除作用形成动态平衡,从而消除因材料脆性去除而造成的表面损伤等,实现了大口径玻璃工件的高表面质量、高形状精度的加工。针对石英玻璃CMG加工的特点,开发了CMG专用砂轮及磨削液,利用正交实验法优化了石英玻璃CMG加工工艺参数,分析了CMG加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、pH值等因素对加工表面粗糙度及加工效率的影响,并利用优化后的工艺参数加工得到了Ra为0.795nm的石英玻璃表面。加工后基板的光学性能和化学机械抛光(CMP)加工基板的光学性能相同,能够满足光掩模设备的性能需求。
- 仇中军周立波房丰洲椎名刚志江田弘
- 关键词：石英玻璃正交试验法
- 金刚石车刀自动研磨装置图像处理系统的开发被引量：1
- 2010年
- 本研究开发了能够应用于圆弧刃金刚石车刀自动研磨的图像处理系统,在使用基于形状的模板匹配的方法对车刀进行初始安装的基础上,进行了切削刃形状信息和位置信息的亚微米精度测量。测量结果表明:开发的图像处理系统实现了圆弧刃半径分别为1mm,0.5mm,0.2mm的金刚石车刀测量,能够在线获得自动研磨所需的形状信息和位置信息,在精度和效率上为自动研磨系统的开发提供了保证。
- 赵群章仇中军房丰洲
- 关键词：超精密加工金刚石刀具图像处理研磨
