安徽省自然科学基金(090412027)
- 作品数：3 被引量：7H指数：1
- 相关作者：褚家如马剑强李保庆张晋弘许晓慧更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学国家电网公司更多>>
- 发文基金：安徽省自然科学基金中国科学技术大学青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备被引量：1
- 2011年
- 研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜.镜面、压电陶瓷与弹性支撑层厚度分别为100μm、60μm与60μm,单元间距为5mm,通光口径为40 mm.对制备的样品性能进行了测试,微变形镜在100 V电压驱动下变形量约为2.84μm,工作带宽大于10 kHz.测试结果还表明压电厚膜驱动的微变形镜拥有较高刚度,有利于提高镜面初始平面度.
- 马剑强李保庆许晓慧褚家如
- 关键词：微变形镜压电厚膜高刚度
- 用于MEMS变形镜的双电极压电厚膜致动器
- 2012年
- 提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷(PZT)厚膜致动器.采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况,优化了内外圈电极尺寸,制作了61单元六边形分布的致动器阵列.测试结果表明,致动器在100 V工作电压下的冲程约为6.6μm,谐振频率为58 kHz,位移迟滞为8%～9%,通过采用单边电压-位移曲线的策略有效降低了位移迟滞,并进一步提出了分时驱动的电路方案.
- 马剑强李保庆张晋弘许晓慧褚家如
- 关键词：变形镜致动器双电极
- MEMS压电超声换能器的结构设计及性能表征被引量：6
- 2010年
- 介绍了一种新型的基于高性能锆钛酸铅(PZT)厚膜(压电常数d31约为-280 pm/V)的微机电系统(MEMS)压电超声换能器。基于有限元法,对该种压电超声换能器进行了模拟设计。优化结果表明,边长2 mm的超声换能器,优化后其共振频率约为170 kHz,有效机电耦合系数可达7.19%。此外,根据模拟结果,制备了超声换能器并进行了测试,共振频率为119 kHz的换能器,其有效机电耦合系数最大为6.39%,共振时中心振幅约为4.8μm@50V,并分析了模拟结果与实验结果产生误差的原因。
- 张晋弘马剑强李保庆冯艳褚家如
- 关键词：厚膜超声换能器
