浙江省自然科学基金(LY13F050001)
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
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- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 原子层沉积制备铱薄膜的特性研究被引量：2
- 2014年
- 以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对不同厚度薄膜的微结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明,原子层沉积制备的Ir薄膜中元素纯度较高(大于95%),表面粗糙度低,并呈现多晶纳米颗粒。同时,Ir薄膜在紫外波段表现出较好的光学特性,可以用于制作Ir金属紫外光栅等光学器件。
- 叶志杰沈伟东章岳光张兴袁文佳李旸晖刘旭
- 关键词：原子层沉积光学特性
- 1064nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备被引量：1
- 2017年
- 设计和制备了一种用于1064nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数,得到分束镜的最优参数,并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减反射膜,其实测结果与设计值吻合较好。与单层薄膜分束镜相比,多层介质薄膜分束镜不受基板、膜层材料,以及入射角和工作波长的限制,具有更广泛的应用。
- 袁文佳沈伟东章岳光郑晓雯沐雯方波杨陈楹刘旭
- 关键词：相位延迟多层介质膜
- 宽波段波状多层膜结构偏振分束器的设计与优化被引量：1
- 2014年
- 本文基于二维光子晶体波状多层膜结构,提出了叠加两种不同膜厚的周期膜堆来拓宽偏振分束器有效带宽的方法.采用粒子群优化算法,建立偏振分束特性的评价函数,优化结构和薄膜厚度等参数,获得了中心波长565 nm,带宽220 nm,平均消光比大于30 dB的宽波段偏振分束器.采用时域有限差分方法分析了膜层顶角的角度敏感性和波状结构的电场分布.结果表明,两个周期膜堆组合的结构解决了禁带不连续的情况,而粒子群优化算法的使用加快了结果收敛,有效地扩展了偏振分束带宽.
- 彭皓沈伟东杨陈楹章岳光刘旭
- 关键词：偏振分束器光子晶体光学薄膜粒子群优化算法
