国家高技术研究发展计划(2006AA040104)
- 作品数：5 被引量：11H指数：1
- 相关作者：秦明孙慧明吴剑黄庆安张筱朵更多>>
- 相关机构：东南大学安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划江苏省“青蓝工程”基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- MEMS湿度传感器信号采集与数字化处理研究
- 2008年
- MEMS(微电子机械系统)湿度传感器是利用标准的CMOS技术加上MEMS的后处理技术制造,以其体积小、响应快等优点受到越来越多的重视,介绍了本实验室研制的MEMS压阻式湿度传感器的测试原理、硬件电路的设计和传输函数模型的建立,以及软件设计和封装设计,最后给出了样机的测试结果。
- 王康秦明
- 关键词：MEMS信号采集传输函数封装设计
- 硅压阻式湿度传感器的研究
- 2009年
- 本文研究了一种利用压阻原理检测相对湿度的传感器结构。改进了压阻结构,在压阻的拐弯处用Al引线代替浓硼掺杂,避免了拐弯处压阻的负压阻效应,提高了传感器的灵敏度。采用离子注入工艺制作压阻,使得硼掺杂更加均匀,提高了压阻的匹配度。对流水出来的传感器进行测试和分析,数据结果表明:在20℃时,传感器的灵敏度为0.236 mV/%RH,最大湿滞约为5%RH,传感器有较好的线性。
- 蔡晓艳陶涛秦明
- 关键词：压阻离子注入灵敏度线性度
- 一种无线传感器网络节点操作系统设计被引量：1
- 2008年
- 无线传感器网络节点操作系统是无线传感器网络的控制核心,与传统的嵌入式操作系统相比有着很大的不同。阐述了无线传感器网络的特点及其对操作系统的要求,介绍了操作系统SOS,并与当前最流行的操作系统之一TinyOS做了对比分析;并在本实验室设计的用于研究月球车等移动目标定位导航的无线传感器网络节点上设计了基于SOS内核的操作系统。
- 郭庆磊梁华为陈万明李阳铭李帅
- 关键词：无线传感器网络操作系统SOSTI
- 一种基于多线程的三维力平台数据采集方案设计
- 2009年
- 介绍了三维力测力平台的系统结构,提出了一种基于多线程的数据采集系统设计方案,详细阐述了数据采集系统的设计思路,实现方法,以及系统的程序流程。在系统中通过采用两个独立的线程,分别实现数据采集与数据融合显示,线程之间通过数据共享相互关联,通过互斥、基于优先级的调度等方法进行控制。经实验测试表明,系统结果正确,工作稳定,实时性与可靠均较好,较成功地满足了三维力测力平台数据采集的需要,具有较好的实用性。
- 黄健郭大宝梅涛吴凌飞
- 关键词：三维力多线程FIFO数据采集互斥
- 基于MEMS工艺的压阻式湿度传感器的设计制作被引量：10
- 2008年
- 提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器。它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀,导致双膜结构发生弯曲产生应力的原理进行工作的。为了确定传感器结构、优化尺寸,采用ANSYS软件进行了模拟计算、设计了MEMS湿度传感器的制造工艺,对制作的微湿度传感器进行了测试,其灵敏度为0.21 mV%RH,最大湿滞为8%RH。
- 孙慧明张筱朵吴剑秦明黄庆安
- 关键词：MEMS湿度传感器压阻聚酰亚胺
