国家高技术研究发展计划(2006AA040101)
- 作品数：23 被引量：88H指数：5
- 相关作者：梁庭薛晨阳刘岗刘俊张文栋更多>>
- 相关机构：中北大学中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨工程大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金太原市大学生创新创业训练计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信矿业工程更多>>
- 基于γ-Al_2O_3膜微加工煤油传感器研究被引量：1
- 2012年
- 基于半导体式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微热板结构载体,采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极。在微热板的2个电极上,涂敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸气敏感单元,实现在微结构体上气体检测的二单元集成。传感器采用脉冲工作方式,工作周期为30 s,在加热峰值形成高温400℃的煤油检测条件。测试结果表明:煤油(标志物:癸烷)检测可实现体积分数(0～7000)×10-6范围,90%的吸附响应时间小于8s,脱附响应时间小于12s,传感器信号输出与煤油体积分数有对应的全对数线性关系。
- 张洪泉乔英杰范茂军
- 关键词：气体传感器煤油微加工脉冲加热
- 利用MEMS技术的乙炔传感器研究
- 2010年
- 利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜电阻器,涂敷Al2O3-SnO2-Ti02-Pd和Al2O3-SnO2-Ti02-Pt,形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出乙炔传感器。测试结果表明:传感器可实现乙炔浓度为0～15000×10-6的检测,具有线性输出特性,同时对乙炔传感器的长期稳定性进行了研究。
- 祁欣周明军张洪泉
- 关键词：催化燃烧
- 微悬梁式汽油传感器研究
- 2010年
- 提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构，并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器，涂敷Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt—Pd和Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂，从而制作出汽油传感器。测试结果表明：传感器可实现汽油体积分数为（0-15）×10^-3的检测（标准气为己烷），且具有线性输出特性。同时对汽油传感器的工作初始稳定性和长期稳定性问题进行了研究。
- 张洪泉乔英杰汪洋范茂军
- 关键词：催化
- 铌酸锂晶片热释电红外探测器设计及性能测试被引量：4
- 2013年
- 通过红外热释电探测器工作原理的分析,采用合适的半导体加工工艺将铌酸锂晶体母材减薄,并对减薄后铌酸锂晶片进行溅射、镀膜将其制成红外敏感单元。选用CMOS放大器与匹配的电阻、电容组成前置放大电路,对热释电信号进行放大和转换;根据红外光谱吸收原理,在敏感单元前封装了窄带滤光片从而提高了敏感单元选择吸收的性能。将敏感单元、前置放大电路和窄带滤波片三部分封装在一个壳体内,红外探测器制作成功。设计了信号调理电路,对从探测器得到的热释电信号进行二次放大和滤波;搭建了探测器响应测试系统,对探测器的性能进行测试,测试验证了该探测器设计的合理性。
- 刘岗梁庭林斯佳李颖刘俊
- 关键词：热释电探测器红外吸收电路设计
- 利用互相关法实现无线传感网络节点自定位被引量：2
- 2009年
- 针对无线传感网络节点音频定位过程中声音到达时刻难于准确估计的不足,提出利用互相关算法来实现节点定位,并对定位结果进行修正,试验结果表明,该方法能得到很高的定位精度,在距离45m的范围内,误差小于0.5m。
- 王宏涛孟令军
- 关键词：互相关时延
- 影响全天域光轴平行度检测精度因素分析被引量：2
- 2015年
- 为提高红外甲烷传感器的精度,对气室结构、电路和数据处理进行了优化设计。通过实验和光学仿真对红外气体传感器气室结构进行了重新优化设计,确定了最佳尺寸;采用三级差动放大电路设计滤除噪声;在数据处理的算法上,选用二次插值查表法来拟合方程处理数据等一系列举措设计出新的红外甲烷传感器。在甲烷浓度为0%~3%的体积分数段内对传感器进行随机测试,新传感器的反应时间能够控制在20 s以内,探测器灵敏度得到提高,测量误差控制在±0.04%。与国内外相似的产品相比,优化的传感器在高灵敏度、测量误差和反应时间上都达到了较高水平。
- 周雷刚梁庭高利聪
- 关键词：气体检测查表法检测误差
- 氧化钴催化薄膜的制备及在微量氨检测中的应用
- 2009年
- 利用溅射法在多孔聚四氟乙烯薄膜上制备了铂金属和金属钴,利用阳极氧化法将金属钴氧化成氧化钴,并将氧化钴制成工作电极;在相同的聚四氟乙烯薄膜上制备了铂黑电极,以氢气为参比气体。选择电极工作电位为0.33 V,检测合成氨联醇工艺原料气中微量氨的含量。检测器对体积分数1.0×10-6的氨气输出电流27.8μA,检出限为体积分数0.08×10-6,响应速度45 s,恢复速度100 s,氨气浓度在0～2.0×10-6范围内,检测器电流输出与氨气浓度呈线性关系。
- 董汉鹏陈庆永夏善红
- 关键词：氧化钴
- 红外甲烷传感器直射式气室设计被引量：8
- 2013年
- 针对采用反射式气室的红外甲烷传感器测量误差较大的问题,基于红外光谱吸收原理,利用非分光探测技术设计了一种新型直射式气室。该气室采用硅半导体片状红外光源、双通道红外探测器及一定长度的气室中腔,选用GaF2作为光源及探测器的视窗材料,搭配外部电路实现对CH4体积分数的监测。0～2.5%CH4体积分数范围内的测试结果表明,采用直射式气室的红外甲烷传感器最大测量误差仅为±0.05%。
- 刘岗刘岗梁庭郇弢
- 关键词：红外甲烷传感器红外光源红外探测器
- 基于LVDS的高速远程实时测控系统的设计被引量：2
- 2010年
- 分析了LVDS在远程测控系统应用中的关键技术,介绍了基于LVDS的高速远程传输方式的设计方案。针对设计中的关键性问题,如电磁干扰、阻抗匹配、直流平衡以及信号驱动等问题提出了具体的解决方案,并给出了电路设计中阻抗匹配设计的线宽计算公式。最后结合实验分析了具体设计对于信号质量的影响。
- 陈昱同刘俊张彦军
- 关键词：LVDS远程测控电磁干扰阻抗匹配
- 微双桥结构氢气传感技术研究被引量：2
- 2009年
- 基于催化燃烧式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al_2O_3膜加工成微双桥结构载体,采用平面薄膜工艺制做铂薄膜热敏电阻,涂敷Al_2O_3-ZrO-Th0-Pd和Al_2O_3-ZrO-Th0形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,实现在微双桥上催化桥臂和补偿桥臂的单片集成,制作出氢气传感器。测试结果表明:传感器可实现体积分数0～40 000×10^(-6)氢气检测,具有线性输出特性,温度为5～45℃的传感器的最大零点输出优于±1.0%。
- 张洪泉范茂军
- 关键词：催化氢气传感器
