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国家自然科学基金(50972126)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
董立中
赵洪力
张福成
杨静凯
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相关机构:
燕山大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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杨静凯
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张福成
1篇
赵洪力
1篇
董立中
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燕山大学学报
年份
1篇
2012
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1
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钢化过程中低辐射玻璃SnO_x:F薄膜氧含量的变化及其影响
被引量:4
2012年
采用有机金属化合物化学气相沉积法(MOCVD)在浮法玻璃上沉积了F掺杂的氧化锡薄膜,制备低辐射镀膜玻璃,并在高温电阻炉和钢化炉内分别进行热处理和钢化实验,对不同条件下的电学性能进行了研究。采用XPS和AES对薄膜中[O]/[Sn]平均含量的变化进行了分析。结果表明,在650℃之内,表面电阻没有发生明显改变,但此后快速上升至86.68Ω/□;薄膜O和Sn的含量不符合化学计量比,[O]/[Sn]比均小于1.20;随着热处理温度的提高和时间的延长,薄膜中O含量有所提高,与表面电阻的变化趋势接近。
杨静凯
赵洪力
董立中
张福成
关键词:
低辐射玻璃
钢化
表面电阻
光电子能谱
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