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北京市教委重点项目(KM200310005016)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：张帅钱晓峰郭商勇陈涛刘世炳更多>>
相关机构：北京工业大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金北京市教委重点项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇掩模

机构

  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇刘世炳
  • 1篇陈涛
  • 1篇郭商勇
  • 1篇钱晓峰
  • 1篇张帅

传媒

  • 1篇激光杂志

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究被引量：2
2006年
分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统。对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析。
郭商勇陈涛刘世炳钱晓峰张帅
关键词：掩模
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共1页<1>
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