重庆市自然科学基金(CSTC2007BB2202)
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
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- 光栅光阀MEMS光开关系统设计被引量：3
- 2008年
- 分析了光栅光阀(grating light valve,GLV)的光学特性,对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点,基于平行平板电容模型的GLV模拟算法,设计了光栅光阀1×2 MEMS(micro-electro-mechanical systems,微机电系统)光开关,经CoventorWare仿真表明,在1.55μm光波长正入射及给定GLV参数时,所设计的光开关1级衍射效率达到50%,开关时间为微秒级,并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点。
- 喻洪麟鲁双全
- 关键词：光栅光阀MEMS光开关衍射效率开关时间
